產(chǎn)品詳情
Setra GCT-225 系列超高純壓力變送器專門設(shè)計用于半導(dǎo)體工藝過程中的超高純氣體輸送系統(tǒng)以及要求超潔凈工作、高吞吐量和超高長期穩(wěn)定性的控制應(yīng)用。GCT-225 系列采用可旋轉(zhuǎn)的外罩結(jié)構(gòu)，用戶可方便地調(diào)節(jié)用于零點和量程微調(diào)的 12 圈電位計。標準的旋轉(zhuǎn)外螺紋 /內(nèi)螺紋端面密封壓力接口可滿足半導(dǎo)體行業(yè)的要求。此外，該系列產(chǎn)品還選用多種其他接口類型。 GCT-225 系列產(chǎn)品提供 5 VDC、 10 VDC 或 4-20 mA 三種輸出類型，可使用六英尺多芯電纜及卡口、 D-Sub 或 M12x1 接頭進行電氣連接。
GCT-225 系列壓力變送器采用 Setra 的 ，配有 VIM/ VAR 316L 不銹鋼隔膜和絕緣電極板。絕緣電極板與傳感器本地構(gòu)成可變電容。當氣體壓力提升時，隔膜會變得略圓，使電容減小。傳感器將檢測到電容變化，并將其轉(zhuǎn)換為高精度的線性直流電信號。 Setra 獨特的定制集成電路采用 的電荷平衡原理制成，幾乎不受 EMI/RFI 干擾。
在制造和裝配完成后， Setra 超高純壓力變送器還要接受去離子水沖洗、高純熱氮氣吹掃、烘干、雙層包裝、氮氣充注和密封等處理，蕞后才發(fā)貨。
注 ： Setra 的質(zhì)量標SETRA西特GCT 225高純度氣體輸送系統(tǒng)壓力變送器準是根據(jù) ANSI-Z540 制定的。該產(chǎn)品的標定具有 NIST 可追蹤性， 號。滿量程輸出的出廠設(shè)置在 ±0.16mA 以內(nèi)。
