217環(huán)境適應(yīng)性強(qiáng)的超高純壓力變送器 西特

Setra 217 型壓力變送器專為模塊式 “Block” 氣體棒和面板設(shè)計(jì)，   ，非常適合惡劣環(huán)境（例如冷氣流導(dǎo)致的溫度瞬變）下的壓力測(cè)量應(yīng)用。

217 型壓力變送器可選帶 C 型或 W 型密封的朝下安裝的壓力端口，帶有易于吹掃的小型傳感器腔室。所有接液部件均采用 VIM/VAR 316L 不銹鋼制造，且表面鈍化拋光至 5 Ra（蕞大 7 Ra），確保表面平整且耐化學(xué)腐蝕，實(shí)現(xiàn)無污染氣體輸送。

每個(gè)傳感器都采用質(zhì)譜儀進(jìn)行了 1 x 10-9 ATM.CC/sec 級(jí)別的氦滲漏試驗(yàn)。

217 型壓力變送器可選 5 VDC、 10 VDC 或 4-20 mA 三種輸出類型，并提供多種標(biāo)準(zhǔn)電氣接口。頂部外側(cè)帶有零點(diǎn)和量程調(diào)整裝置，進(jìn)一步體現(xiàn)了獨(dú)特設(shè)計(jì)，適合所有朝下安裝的 UHP（超高純）壓力測(cè)量應(yīng)用。 217 型同時(shí)也是一款獲    的可變電容傳感器，采用 316L 不銹鋼隔膜和絕緣電極板，可變電容在傳感器本體與電極板之間形成。

當(dāng)氣體壓力提升時(shí)，隔膜會(huì)變得略圓，使電容減小。傳感器將檢測(cè)到電容變化，并基于    的電荷平衡原理，

 泄露率低217環(huán)境適應(yīng)性強(qiáng)的超高純壓力變送器西特setra

 易于吹掃的小腔室

 200PSI/250PSI/3000PS
特性
·316 L VIM/VAR 不銹鋼
·表面拋光度 7 Ra
·1×10-9 ATM.CC/sec 級(jí)別的氨滲漏實(shí)驗(yàn)
·出色的穩(wěn)定性，避免停機(jī)
·可選帶 C 型或 W 型密封的壓力端口
·抗電磁干擾 / 射頻干擾，可防止誤停機(jī)
·易于吹掃
·符合 CE 和 RoHS 標(biāo)準(zhǔn)要求
應(yīng)用
·模塊式“Block”氣體棒和面板
·高純度氣體輸送系統(tǒng)
·半導(dǎo)體過程工具
技術(shù)規(guī)格

性能數(shù)據(jù)

jing確RSS*（恒定溫度下）±0.25%全量程或讀數(shù)±1.0%

非線性，BFSL±0.15%全量程

滯后0.20%全量程

非重復(fù)性0.02%全量程

熱效應(yīng)**

補(bǔ)償范圍oF(℃)+15到+150（-9到+65）

零點(diǎn)漂移%FS/100oF(50℃)2.0(1.8)

范圍漂移%FS/100oF(50℃)2.0(1.8)

非線性、非重復(fù)性和遲滯的RSS（和方根）值。

在額定70oF下校驗(yàn)過的設(shè)備。根據(jù)此數(shù)據(jù)而計(jì)算的**溫度誤差。

環(huán)境數(shù)據(jù)

溫度

工作溫度*oF(℃)-40到+185（-40到+85）

儲(chǔ)存溫度oF(℃)-40到+185（-40到+85）

工作溫度僅是電子設(shè)備的溫度Ji限。受壓媒介的溫度可能要高或低很多。