產(chǎn)品詳情
應(yīng)用于227高密度模塊Block氣體棒面板設(shè)計超高純壓力變送器 西特setra
·11/8″“Block”氣體棒和面板
·高純度氣體輸送系統(tǒng)
·半導(dǎo)體過程工具
的理想選擇。
與其他采用大體積封頭腔室的產(chǎn)品不同， Setra 227 型壓力變送器采用了易于吹掃的小型傳感器腔室設(shè)計。所有接液部件均采用 VIM/VAR 316L 不銹鋼制造，且表面鈍化拋光至 5 Ra（蕞大 7 Ra），確保表面平整且耐化學(xué)腐蝕，實現(xiàn)無污染氣體輸送。
227 型壓力變送器可選 5 VDC、 10 VDC 或 4-20mA 三種輸出類型，精度達(dá) ±0.25% FS 或 1.0% 讀數(shù)。該型號可選符合工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的 11/8″帶 C 型或 W 型密封的朝下安裝的壓力接口，另外還可使用多芯電纜、 4 針卡口接頭和 9 針或 15 針D-sub 接頭進(jìn)行電氣連接。與 328 型 11/8″旋轉(zhuǎn)顯示屏配合使用時， 227 型可實現(xiàn)理想的壓力測量和顯示。零點和量程調(diào)整裝置位于旋轉(zhuǎn)保護(hù)罩下方的側(cè)面。用戶還可選擇絕壓、表壓或復(fù)合壓測量范圍。
高性價比
227 型壓力變送器采用 Setra 磚利的 ，配有316L 不銹鋼隔膜和絕緣電極板。絕緣電極板與傳感器本地構(gòu)成可變電容。當(dāng)氣體壓力提升時，隔膜會變得略圓，使電容減小。傳感器將檢測到電容變化，并基于磚利的電荷平衡原理，通過 Setra 獨特的定制集成電路將其轉(zhuǎn)換為高精度的線性直流電信號。Setra 所有的超高純系列產(chǎn)品都基于 Setra 成熟的電容傳感技術(shù)制造，能提供幾乎不受 EMI/RFI 干擾的高精度、穩(wěn)定的電壓或電流輸出信號。
表壓、復(fù)合壓、絕壓可選
PSI或BAR量程可選
11/8"下法蘭安裝
Setra 的227型傳感器專用于當(dāng)今的300mm工具所要求的高密度、模塊式block
氣體棒和面板。227型1-1/8"的占地面積優(yōu)化了有價值的空間，其堅固的設(shè)計使
其非常適合那些要求長期穩(wěn)定性、高精度和對惡劣環(huán)境格外不敏感的壓力測量應(yīng)
用。
與其它具有較大死端空泡體積的設(shè)計不同，227型具有一個方便洗滌的小排量
傳感器艙。所有濕潤部件均為優(yōu)質(zhì)VAR316LSS材料，電解拋光至5Ra（10
max.）的終飾。每一個傳感器都經(jīng)質(zhì)譜儀進(jìn)行過高達(dá)1x10-9atm.cc/sec的氦
滲漏試驗。
可選擇5VDC、10VDC或4-20mA輸出，227型可提供±0.25%全量程或
±1.0%的讀數(shù)精度。227型配備了一個節(jié)省空間的11/8"C型密封件下安裝接口
底座，并可選擇多芯電纜、4針bayonet連接器和一個9針或15針D型連接器
用于電氣終端。加上327型的1-1/8"可旋轉(zhuǎn)顯示器，該產(chǎn)品包達(dá)到了壓力測量
及顯示的Ji致。
該獨特設(shè)計包括在旋轉(zhuǎn)保護(hù)蓋下面的側(cè)接近至零點及范圍調(diào)節(jié)，可選擇絕隊壓、
表壓或復(fù)合壓。
Setra 獲専利的可變電容傳感器的特點在于一個316L不銹鋼膜片和一個絕緣電Ji
板。在傳感器主體和電Ji板之間形成一個可變電容器。壓力的增加致使膜片略微
·11/8″“Block”氣體棒和面板
·高純度氣體輸送系統(tǒng)
·半導(dǎo)體過程工具
的理想選擇。
與其他采用大體積封頭腔室的產(chǎn)品不同， Setra 227 型壓力變送器采用了易于吹掃的小型傳感器腔室設(shè)計。所有接液部件均采用 VIM/VAR 316L 不銹鋼制造，且表面鈍化拋光至 5 Ra（蕞大 7 Ra），確保表面平整且耐化學(xué)腐蝕，實現(xiàn)無污染氣體輸送。
227 型壓力變送器可選 5 VDC、 10 VDC 或 4-20mA 三種輸出類型，精度達(dá) ±0.25% FS 或 1.0% 讀數(shù)。該型號可選符合工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的 11/8″帶 C 型或 W 型密封的朝下安裝的壓力接口，另外還可使用多芯電纜、 4 針卡口接頭和 9 針或 15 針D-sub 接頭進(jìn)行電氣連接。與 328 型 11/8″旋轉(zhuǎn)顯示屏配合使用時， 227 型可實現(xiàn)理想的壓力測量和顯示。零點和量程調(diào)整裝置位于旋轉(zhuǎn)保護(hù)罩下方的側(cè)面。用戶還可選擇絕壓、表壓或復(fù)合壓測量范圍。
高性價比
227 型壓力變送器采用 Setra 磚利的 ，配有316L 不銹鋼隔膜和絕緣電極板。絕緣電極板與傳感器本地構(gòu)成可變電容。當(dāng)氣體壓力提升時，隔膜會變得略圓，使電容減小。傳感器將檢測到電容變化，并基于磚利的電荷平衡原理，通過 Setra 獨特的定制集成電路將其轉(zhuǎn)換為高精度的線性直流電信號。Setra 所有的超高純系列產(chǎn)品都基于 Setra 成熟的電容傳感技術(shù)制造，能提供幾乎不受 EMI/RFI 干擾的高精度、穩(wěn)定的電壓或電流輸出信號。
表壓、復(fù)合壓、絕壓可選
PSI或BAR量程可選
11/8"下法蘭安裝
Setra 的227型傳感器專用于當(dāng)今的300mm工具所要求的高密度、模塊式block
氣體棒和面板。227型1-1/8"的占地面積優(yōu)化了有價值的空間，其堅固的設(shè)計使
其非常適合那些要求長期穩(wěn)定性、高精度和對惡劣環(huán)境格外不敏感的壓力測量應(yīng)
用。
與其它具有較大死端空泡體積的設(shè)計不同，227型具有一個方便洗滌的小排量
傳感器艙。所有濕潤部件均為優(yōu)質(zhì)VAR316LSS材料，電解拋光至5Ra（10
max.）的終飾。每一個傳感器都經(jīng)質(zhì)譜儀進(jìn)行過高達(dá)1x10-9atm.cc/sec的氦
滲漏試驗。
可選擇5VDC、10VDC或4-20mA輸出，227型可提供±0.25%全量程或
±1.0%的讀數(shù)精度。227型配備了一個節(jié)省空間的11/8"C型密封件下安裝接口
底座，并可選擇多芯電纜、4針bayonet連接器和一個9針或15針D型連接器
用于電氣終端。加上327型的1-1/8"可旋轉(zhuǎn)顯示器，該產(chǎn)品包達(dá)到了壓力測量
及顯示的Ji致。
該獨特設(shè)計包括在旋轉(zhuǎn)保護(hù)蓋下面的側(cè)接近至零點及范圍調(diào)節(jié)，可選擇絕隊壓、
表壓或復(fù)合壓。
Setra 獲専利的可變電容傳感器的特點在于一個316L不銹鋼膜片和一個絕緣電Ji
板。在傳感器主體和電Ji板之間形成一個可變電容器。壓力的增加致使膜片略微
