產(chǎn)品詳情
產(chǎn)品特點(diǎn)
閉式氣浮結(jié)構(gòu)
直驅(qū)零齒槽效應(yīng)
定位精度±0.5arc sec
同步跳動誤差10nm
精準(zhǔn)回零誤差
高速度穩(wěn)定性
最大承載 1T
解決氣浮軸抱死問題
應(yīng)用領(lǐng)域
QFR系列氣浮轉(zhuǎn)臺輕量化設(shè)計(jì)、有效降低高度、減小多軸系統(tǒng)集成情況下的阿貝誤差；提供高定位精度、高速度穩(wěn)定性和納米級同步跳動。產(chǎn)品設(shè)計(jì)滿足晶圓加工及檢測、輪廓測量、高精度計(jì)量、光學(xué)檢測和MEMS/納米技術(shù)設(shè)備等高端行業(yè)。
結(jié)構(gòu)特點(diǎn)
由無齒槽直驅(qū)力矩電機(jī)、閉式氣浮軸承和圓光柵反饋組成，最大限度地提高定位性能。閉式氣浮結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)使工作臺面降低，減小系統(tǒng)誤差影響。具有高軸向剛度和大承載能力。解決氣浮軸抱死的問題，力矩電機(jī)固有的零齒槽效應(yīng)和扭矩波紋折射，適合在各種速度下平滑轉(zhuǎn)動。
精度性能
瑞邦精控的QFR系列氣浮轉(zhuǎn)臺同步軸向跳動誤差和徑向跳動誤差10nm，擺角誤差3μrad，最大負(fù)載1T，電動控制和手動轉(zhuǎn)動跳動誤差一致，使用壽命10年以上。
閉環(huán)反饋
使用圓光柵閉環(huán)反饋，分辨率優(yōu)于0.01arc sec，同時(shí)采用高性能控制系統(tǒng)，優(yōu)化氣浮結(jié)構(gòu)，氣浮轉(zhuǎn)臺能精準(zhǔn)回零。
定制化
氣浮轉(zhuǎn)臺可安裝滑環(huán)，用于空間模擬裝置，MEMS和慣性導(dǎo)航等應(yīng)用
規(guī)格指標(biāo)
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型號 Model |
單位 Units |
QFR-100 |
QFR-150 |
QFR-200 |
QFR-250 |
QFR-300 |
QFR-350 |
QFR-400 |
QFR-500 |
QFR-750 |
QFR-1000 |
|
|
行程 Travel |
° |
360 |
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臺面直徑 Tabletop Diameter |
mm |
84 |
134 |
184 |
234 |
284 |
334 |
384 |
484 |
734 |
984 |
|
|
通孔直徑 Aperture Diameter |
mm |
10 |
16 |
22 |
30 |
40 |
40 |
50 |
60 |
80 |
100 |
|
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補(bǔ)償后定位精度 Accuracy |
高精版 Plus |
arc sec |
±0.5 |
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普通版 Standard |
±2 |
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雙向重復(fù)定位精度 Bi-Dir Repeatability |
高精版 Plus |
arc sec |
≤0.5 |
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普通版 Standard |
≤1 |
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同步軸向跳動誤差 Synchronous Axial Error Motion |
高精版 Plus |
nm |
10 |
100 |
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|
普通版 Standard |
200 |
500 |
||||||||||
|
同步徑向跳動誤差 Synchronous Radial Error Motion |
高精版 Plus |
nm |
10 |
150 |
||||||||
|
普通版 Standard |
200 |
500 |
||||||||||
|
同步擺角誤差 Synchronous Tilt Error Motion |
高精版 Plus |
μrad |
3 |
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|
普通版 Standard |
6 |
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異步軸向跳動誤差 Asynchronous Axial Error Motion |
高精版 Plus |
nm |
≤ 2.5 |
≤ 25 |
||||||||
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普通版 Standard |
≤ 30 |
≤ 50 |
||||||||||
|
異步徑向跳動誤差 Asynchronous Radial Error Motion |
高精版 Plus |
nm |
≤ 2.5 |
≤ 25 |
||||||||
|
普通版 Standard |
≤ 30 |
≤ 50 |
||||||||||
|
異步擺角誤差 Asynchronous Tilt Error Motion |
高精版 Plus |
μrad |
≤ 0.2 |
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普通版 Standard |
≤ 0.5 |
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電子分辨率 Electronic Resolution (1) |
arc sec |
< 0.01 |
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最大速度 (空載) Max Speed (No Load) (2) |
rpm |
300,（≥1000 定制） |
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最大負(fù)載 Max Load |
軸向 Axial Dir |
kg |
10 |
20 |
45 |
75 |
100 |
120 |
350 |
650 |
850 |
1000 |
|
徑向 Radia Dir |
5 |
12 |
20 |
36 |
45 |
50 |
— |
— |
— |
— |
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供氣壓力 Operating Pressure (3) |
MPa |
0.5±0.05 |
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材料 Material |
/ |
航空7075鋁合金（表面氧化處理） |
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注：
以上為單軸精度指標(biāo)，在潔凈間內(nèi)測試，溫度20℃±0.5℃，濕度40%~60%RH，振動等級VC-F，測試點(diǎn)在轉(zhuǎn)動臺面上25mm處，測試速度10deg/s，Renishaw激光干涉儀及自帶分析方法測量，精度測試與負(fù)載尺寸及測試點(diǎn)高度有關(guān)，環(huán)境的變化會導(dǎo)致精度變化，如需非標(biāo)準(zhǔn)測試，請咨詢我們。
1. 電子分辨率取決編碼器線數(shù)及控制器的細(xì)分倍數(shù)。
2. 空載條件下指標(biāo)，最大轉(zhuǎn)速取決于負(fù)載大小。
3. 為保護(hù)氣浮軸承建議加裝壓力保護(hù)開關(guān)。壓縮空氣必須是清潔的（過濾至0.25μm或更佳，ISO8573-1），無水（壓力露點(diǎn)-20℃，ISO8573-1級別3）及無油（ISO8573-1級別1）。
4. 無特殊項(xiàng)目要求，出廠默認(rèn)為準(zhǔn)。
