產(chǎn)品詳情
設(shè)備主要利用微波測試原理,非接觸式測量射頻HEMT結(jié)構(gòu)半導(dǎo)體材料的方阻、遷移率及載流子濃度??蓪?shí)現(xiàn)單點(diǎn)測試,
亦可以實(shí)現(xiàn)面掃描的測試功能,具有快速,無損,準(zhǔn)確等優(yōu)勢,可用于材料研發(fā)及工藝的監(jiān)測及質(zhì)量控制。
特點(diǎn)
適用于遷移率量測范圍在100cm2/V · s~3000cm2/V · s 的射頻HEMT外延片。非接觸,非損傷測試,具有測試速度快,
重復(fù)性佳,測試敏感性高,可以直接測試產(chǎn)品片等優(yōu)點(diǎn)。


