產(chǎn)品詳情
產(chǎn)品特點(diǎn)
緊湊式直驅(qū)結(jié)構(gòu)
重復(fù)定位精度±50nm
抗蠕動(dòng)交叉滾柱導(dǎo)軌
直線度和平面度±0.5μm
微動(dòng)步距≤2nm
可定制高真空版本
應(yīng)用領(lǐng)域
RBN-XY系列是一款高精度的雙軸精密運(yùn)動(dòng)臺(tái)，具有納米級(jí)微動(dòng)步距，亞微米級(jí)重復(fù)定位精度，高動(dòng)態(tài)性能，結(jié)構(gòu)緊湊，用于飛秒激光加工、光學(xué)制造及檢測(cè)、測(cè)試測(cè)量、半導(dǎo)體、光纖對(duì)準(zhǔn)和科研等領(lǐng)域。
結(jié)構(gòu)特點(diǎn)
三片式疊層結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，有效地降低工作點(diǎn)的高度，減小阿貝誤差對(duì)系統(tǒng)精度的影響。直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)，具有零齒槽、高動(dòng)態(tài)性能及電流噪聲小等特點(diǎn)。運(yùn)動(dòng)臺(tái)在低速運(yùn)動(dòng)時(shí)保持平穩(wěn)，在高速狀態(tài)不會(huì)產(chǎn)生振動(dòng)?？谷鋭?dòng)交叉滾柱直線導(dǎo)軌，滾柱間線線接觸，運(yùn)動(dòng)平穩(wěn)，交叉排列，多方向受力穩(wěn)定。
精度性能
非接觸式光柵尺閉環(huán)反饋，通過結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)、材料選擇、加工工藝、裝配方法等綜合把控，獲得高精度指標(biāo)，定位精度±0.1μm，雙向重復(fù)定位精度±50nm，直線度和平面度±0.5μm。
微動(dòng)步距
對(duì)有微動(dòng)步距要求的應(yīng)用領(lǐng)域，如最小步距運(yùn)動(dòng)、對(duì)準(zhǔn)應(yīng)用等，微動(dòng)步距≤2nm，對(duì)現(xiàn)場(chǎng)使用環(huán)境的要求，更多細(xì)節(jié)可聯(lián)系瑞邦精控。
定制化
可定制高真空環(huán)境下的版本，真空度10^-7Torr；定制最大加速度，多軸結(jié)構(gòu)等；根據(jù)應(yīng)用可配置大理石基座、支撐鋼架、隔振臺(tái)等整套運(yùn)動(dòng)控制方案。
規(guī)格指標(biāo)
|
單位 Units |
RBN-35XY |
RBN-60XY |
RBN-110XY |
||
|
行程 Travel |
mm |
35 x 35 |
60 x 60 |
110 x 110 |
|
|
補(bǔ)償后定位精度 Accuracy |
超精版 Ultra |
μm |
±0.05 |
±0.05 |
±0.05 |
|
高精版 Plus |
±0.1 |
±0.1 |
±0.1 |
||
|
普通版 Standard |
±0.2 |
±0.3 |
±0.3 |
||
|
單向重復(fù)定位精度 Uni-Repeatability |
超精版 Ultra |
nm |
±7.5 |
±7.5 |
±7.5 |
|
高精版 Plus |
±20 |
±20 |
±40 |
||
|
普通版 Standard |
±30 |
±30 |
±75 |
||
|
雙向重復(fù)定位精度 Bi-Dir Repeatability |
超精版 Ultra |
μm |
±0.01 |
±0.01 |
±0.01 |
|
高精版 Plus |
±0.025 |
±0.025 |
±0.05 |
||
|
普通版 Standard |
±0.1 |
±0.1 |
±0.1 |
||
|
直線度 (1) Straightness |
高精版 Plus |
μm |
±0.25 |
±0.25 |
±0.35 |
|
普通版 Standard |
±1 |
±1 |
±1 |
||
|
平面度 (1) Flatness |
高精版 Plus |
μm |
±0.5 |
±0.5 |
±0.5 |
|
普通版 Standard |
±1 |
±1 |
±1 |
||
|
俯仰、翻滾 (1) Pitch Roll |
高精版 Plus |
arc sec |
±1 |
±2.5 |
±3 |
|
普通版 Standard |
±5 |
±5 |
±5 |
||
|
偏擺 (1) Yaw |
高精版 Plus |
arc sec |
±1 |
±1 |
±1 |
|
普通版 Standard |
±2.5 |
±2.5 |
±2.5 |
||
|
電子分辨率 Electronic Resolution (2) |
nm |
≤ 1, ≤ 5（選配） |
|||
|
最大速度 (空載) Max Speed (No Load) (3) |
mm/s |
200 |
|||
|
最大加速度 (空載) Max Acceleration (No Load) (3) |
m/s2 |
1,（5 定制） |
|||
|
最大負(fù)載 Max Load |
kg |
20 |
|||
|
型號(hào) Model |
單位 Units |
RBN-160XY |
RBN-210XY |
|
|
行程 Travel |
mm |
160 x 160 |
210 x 210 |
|
|
補(bǔ)償后定位精度 Accuracy |
超精版 Ultra |
μm |
±0.05 |
±0.05 |
|
高精版 Plus |
±0.1 |
±0.15 |
||
|
普通版 Standard |
±0.3 |
±0.3 |
||
|
單向重復(fù)定位精度 Uni-Repeatability |
超精版 Ultra |
nm |
±7.5 |
±10 |
|
高精版 Plus |
±40 |
±50 |
||
|
普通版 Standard |
±75 |
±75 |
||
|
雙向重復(fù)定位精度 Bi-Dir Repeatability |
超精版 Ultra |
μm |
±0.01 |
±0.015 |
|
高精版 Plus |
±0.075 |
±0.075 |
||
|
普通版 Standard |
±0.1 |
±0.15 |
||
|
直線度 (1) Straightness |
高精版 Plus |
μm |
±0.5 |
±0.5 |
|
普通版 Standard |
±1.5 |
±1.5 |
||
|
平面度 (1) Flatness |
高精版 Plus |
μm |
±0.75 |
±0.75 |
|
普通版 Standard |
±1.5 |
±1.5 |
||
|
俯仰、翻滾 (1) Pitch Roll |
高精版 Plus |
arc sec |
±3 |
±3 |
|
普通版 Standard |
±5 |
±7 |
||
|
偏擺 (1) Yaw |
高精版 Plus |
arc sec |
±1 |
±2 |
|
普通版 Standard |
±2.5 |
±5 |
||
|
電子分辨率 Electronic Resolution (2) |
nm |
≤ 1, ≤ 5（選配） |
||
|
最大速度 (空載) Max Speed (No Load) (3) |
mm/s |
200 |
||
|
最大加速度 (空載) Max Acceleration (No Load) (3) |
m/s2 |
1,（5 定制） |
||
|
最大負(fù)載 Max Load |
kg |
20 |
||
注：
以上為單軸精度指標(biāo)，在潔凈間內(nèi)測(cè)試，溫度20℃±0.5℃（重復(fù)定位精度優(yōu)于±50nm，測(cè)量時(shí)溫度20℃±0.01℃），濕度40%~60%RH，普通版振動(dòng)等級(jí)VC-E，測(cè)試點(diǎn)在負(fù)載板上25mm處，測(cè)試速度10mm/s，Renishaw激光干涉儀測(cè)量及自帶分析方法，多軸系統(tǒng)的精度測(cè)試與負(fù)載尺寸及測(cè)試點(diǎn)高度有關(guān)，環(huán)境的變化會(huì)導(dǎo)致精度變化，如要求非標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試，請(qǐng)咨詢我們。
1. 取決于平臺(tái)安裝表面的平面度。
2. 電子分辨率取決光柵尺及控制器的細(xì)分倍數(shù)。
3. 空載條件下的精度指標(biāo)，最大速度和加速度取決于負(fù)載大小。
4. 無特殊項(xiàng)目要求，出廠默認(rèn)為準(zhǔn)。振動(dòng)等級(jí)VC-G，微動(dòng)步距 <0.2nm。
