產(chǎn)品詳情
產(chǎn)品特點(diǎn)
直線軸行程200mm*200mm*150mm (XYZ)
旋轉(zhuǎn)軸行程±90°*360°（AB軸）
XYZ交叉滾柱導(dǎo)軌，納米級(jí)定位紋波
AB軸氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)，亞微米跳動(dòng)誤差
優(yōu)化線纜管理系統(tǒng)
結(jié)構(gòu)、行程可定制
應(yīng)用領(lǐng)域
RBN-200XY-150Z-AB五軸精密運(yùn)動(dòng)臺(tái)用于曲面飛秒激光加工。
產(chǎn)品簡(jiǎn)介
XY軸采用防蠕動(dòng)十字交叉滾柱導(dǎo)軌導(dǎo)向，直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)及光柵尺閉環(huán)反饋，XY軸平面式結(jié)構(gòu)，最大限度降低高度，減小系統(tǒng)誤差影響；此外XY軸可定制抱閘功能，抱閘位置漂移可控制在10nm內(nèi)。
Z軸直驅(qū)力矩電機(jī)驅(qū)動(dòng)，交叉滾柱導(dǎo)軌導(dǎo)向及光柵尺閉環(huán)反饋，獲得納米級(jí)定位紋波；
AB軸氣浮軸承、力矩電機(jī)驅(qū)動(dòng)及光柵尺閉環(huán)反饋，閉式氣浮結(jié)構(gòu)，對(duì)結(jié)構(gòu)進(jìn)行優(yōu)化設(shè)計(jì)，氣浮軸承表面和創(chuàng)新的預(yù)壓高剛度，側(cè)向放置承載能力大，解決氣浮抱死的問(wèn)題。優(yōu)秀的軸向跳動(dòng)誤差、徑向跳動(dòng)誤差和傾角誤差，使AB軸正交2~10arc sec，軸向線重合度2~10μm。
大理石機(jī)體因強(qiáng)度大、硬度高、不生銹、耐腐蝕性、耐磨性及穩(wěn)定性好，應(yīng)用于運(yùn)動(dòng)臺(tái)上質(zhì)量可靠，品質(zhì)有保障。大理石做模態(tài)分析，優(yōu)化結(jié)構(gòu)尺寸，可依據(jù)客戶(hù)的要求做最終設(shè)計(jì)。
規(guī)格指標(biāo)
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軸系 Axis |
測(cè)試項(xiàng)目 Test Items |
單位 Units |
指標(biāo)Specification |
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X 軸 X AXIS |
行程 Travel |
mm |
200 |
|
補(bǔ)償后定位精度 Accuracy |
μm |
±0.5 |
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|
雙向重復(fù)定位精度 Bi-Dir Repeatability |
μm |
±0.1 |
|
|
直線度 Straightness |
μm |
±1.5 |
|
|
平面度 Flatness |
μm |
±2 |
|
|
工作速度 Operating Speed |
mm/s |
100 |
|
|
Y 軸 Y AXIS |
行程 Travel |
mm |
200 |
|
補(bǔ)償后定位精度 Accuracy |
μm |
±0.5 |
|
|
雙向重復(fù)定位精度 Bi-Dir Repeatability |
μm |
±0.1 |
|
|
直線度 Straightness |
μm |
±1.5 |
|
|
平面度 Flatness |
μm |
±2 |
|
|
工作速度 Operating Speed |
mm/s |
100 |
|
|
A 軸 A AXIS |
行程 Travel |
° |
±90 |
|
補(bǔ)償后定位精度 Accuracy |
arc sec |
±2 |
|
|
雙向重復(fù)定位精度 Bi-Dir Repeatability |
arc sec |
±1 |
|
|
軸向跳動(dòng)誤差 Axial Error Motion |
μm |
0.2 |
|
|
徑向跳動(dòng)誤差 Radial Error Motion |
μm |
0.2 |
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工作速度 Operating Speed |
°/s |
40 |
|
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B 軸 B AXIS |
行程 Travel |
° |
360 |
|
補(bǔ)償后定位精度 Accuracy |
arc sec |
±2 |
|
|
雙向重復(fù)定位精度 Bi-Dir Repeatability |
arc sec |
±1 |
|
|
軸向跳動(dòng)誤差 Axial Error Motion |
μm |
0.2 |
|
|
徑向跳動(dòng)誤差 Radial Error Motion |
μm |
0.2 |
|
|
工作速度 Operating Speed |
°/s |
40 |
|
|
Z 軸 Z AXIS |
行程 Travel |
mm |
150 |
|
補(bǔ)償后定位精度 Accuracy |
μm |
±0.3 |
|
|
雙向重復(fù)定位精度 Bi-Dir Repeatability |
μm |
±0.1 |
|
|
直線度 Straightness |
μm |
±1 |
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|
平面度 Flatness |
μm |
±1 |
|
|
工作速度 Operating Speed |
mm/s |
50 |
|
|
XYAB |
負(fù)載 Load |
kg |
1 |
|
Z |
負(fù)載 Load |
kg |
20 |
