產品詳情
公司名：深圳捷微洛克科技有限公司
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全自動和半自動GC特氣柜 BSGS特氣柜 VMB特氣柜 TMA特氣柜 Scrubber尾氣處理柜 特氣分配柜 VDB特氣柜 VDP特氣柜
技術參數
| 型號 | JW-200-GC |
| 規(guī)格 | 單瓶/雙瓶 |
| 專用氣柜尺寸 | 雙瓶: W800*D633*H2172 , 單瓶: W600*D661*H2104 |
| 控制柜電源 | 控制電源: 220VAC, 50HZ, 500W, 加熱電源: 220VAC, 50HZ, 1-6KW |
| 吹掃 | PN2,1/4”MVCR |
| 高壓保持 | HPN2,1/4”MVCR |
| 真空 | GN2.1/4” MVCR |
| 排氣 | 1/2” MVCR |
| 氣動氣源 | CDA driver, 1/4″ SWG |
| 氣柜通風口 | 外徑150MM，硅烷810m3/小時；其他204m3/小時 |
| 標準配置 | 自動切換、自動吹掃、防爆、防泄漏柜體、防爆自鎖門、防爆玻璃觀察窗、泄漏報警、遠程斷電、負壓報警 |
| 操作界面 | 10英寸彩色觸摸屏 |
可選
*紫外/紅外火焰探測器
*氣缸關閉裝置
*面板加熱裝置
*以太網通訊模塊
*CGA Guarder 保護裝置
*過流開關
*氣缸控制
*稱重秤
*氣缸加熱裝置
特氣柜是一種用于供應和管理特種氣體的設備，主要用于半導體、LED等新興產業(yè)的生產過程中。這些特種氣體包括易燃、易爆、劇毒等具有一定危險性的氣體，如硅烷（SiH4）等。
在CVD（化學氣相沉積）等生產過程中，特氣柜發(fā)揮著至關重要的作用。它能夠滿足生產過程中對氣體原材料的高純度和連續(xù)穩(wěn)定供給的要求，確保生產正常進行和員工人身安全。特氣柜內部PLC程式設計的安全聯鎖功能、高純閥件的合理選擇和布局，使得氣體在傳送過程中經過多次自動吹掃，避免被氣體雜質污染，保證氣體原材料的純度。
此外，特氣柜還具有報警偵測警報功能，在緊急情況下會自動安全切斷，保障生產安全和人員安全。全自動特氣柜的柜體板材厚度不低于2.5mm，有防腐蝕涂層，柜門關閉時，氣瓶柜內部處于負壓狀態(tài)，柜內的排風換氣的頻率不低于300次/H，從而確保特氣柜在各種環(huán)境下都能穩(wěn)定運行。
