產(chǎn)品詳情
產(chǎn)品特點(diǎn)
SiC導(dǎo)軌，超高性能精度
重復(fù)定位精度±15nm
平面式氣浮結(jié)構(gòu)，減小系統(tǒng)誤差影響
剛度比鋁合金導(dǎo)軌提高了5倍
龍門式雙驅(qū)結(jié)構(gòu)，承載能力強(qiáng)
高速，快速的整定時(shí)間
可選激光尺、干涉儀位置反饋
優(yōu)化后的線纜管理系統(tǒng)
應(yīng)用領(lǐng)域
QFDHSiC-XY系列碳化硅版平面式氣浮運(yùn)動(dòng)臺(tái)，采用有限元分析優(yōu)化碳化硅結(jié)構(gòu)和優(yōu)化的氣浮軸承補(bǔ)償設(shè)計(jì)技術(shù)，提高精度的同時(shí)，也提高動(dòng)態(tài)性能，用于晶圓曝光、大尺寸飛秒激光加工、刻劃光柵及無(wú)圖形晶圓缺陷檢測(cè)等行業(yè)。
結(jié)構(gòu)特點(diǎn)
QFDHSiC-XY系列采用碳化硅材質(zhì)，具有非常好的剛度，是鋁制結(jié)構(gòu)的5倍，熱膨脹系數(shù)降低了約5倍，利用有限元分析優(yōu)化碳化硅導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)，使設(shè)備達(dá)到高速運(yùn)動(dòng)而沒(méi)有犧牲動(dòng)態(tài)跟蹤幾何性能和熱穩(wěn)定性。新型氣浮軸承補(bǔ)償方式，極大提高系統(tǒng)的剛度和穩(wěn)定性。
精度性能
采用無(wú)鐵芯直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)，交叉解耦控制算法提供雙驅(qū)軸的運(yùn)動(dòng)同步性能，氣浮導(dǎo)軌實(shí)現(xiàn)無(wú)摩擦、無(wú)振動(dòng)地平滑移動(dòng)，由于非接觸式結(jié)構(gòu)，伺服反饋的跟隨誤差有了質(zhì)地提升，定位精度和重復(fù)精度得到了顯著提高。
線纜管理
使用帶屏蔽的高柔排線，優(yōu)化管線彎曲半徑，防止動(dòng)作過(guò)程中線纜的拉伸影響到氣浮臺(tái)的性能。同時(shí)適用無(wú)塵車間。
定制化
根據(jù)應(yīng)用可安裝轉(zhuǎn)臺(tái)或晶圓裝卸用的夾具。可選用激光尺或激光干涉儀閉環(huán)反饋，提升精度性能。
規(guī)格指標(biāo)
|
型號(hào)Model |
單位Units |
QFDHSiC-300-300 |
QFDHSiC-300-500 |
|||
|
軸系A(chǔ)xis(1) |
— |
X |
Y |
X |
Y |
|
|
行程Travel |
mm |
300 |
300 |
300 |
500 |
|
|
補(bǔ)償后定位精度 Accuracy |
高精版Plus |
μm |
±50 |
±50 |
±50 |
±100 |
|
普通版Standard |
±75 |
±75 |
±75 |
±150 |
||
|
單向重復(fù)定位精度(2) Uni-Repeatability |
高精版Plus |
nm |
±3 |
±3 |
±3 |
±7.5 |
|
普通版Standard |
±10 |
±10 |
±10 |
±20 |
||
|
雙向重復(fù)定位精度(2) Bi-Dir Repeatability |
高精版Plus |
μm |
±5 |
±5 |
±5 |
±10 |
|
普通版Standard |
±15 |
±15 |
±15 |
±30 |
||
|
直線度(3) Straightness |
高精版Plus |
μm |
±0.15 |
±0.15 |
±0.15 |
±0.25 |
|
普通版Standard |
±0.25 |
±0.25 |
±0.25 |
±0.45 |
||
|
平面度(3) Flatness |
高精版Plus |
μm |
±0.15 |
±0.15 |
±0.15 |
±0.25 |
|
普通版Standard |
±0.25 |
±0.25 |
±0.25 |
±0.45 |
||
|
俯仰、翻滾、偏擺(3) Pitch Roll Yaw |
高精版Plus |
arc sec |
±0.1 |
±0.1 |
±0.1 |
±0.4 |
|
普通版Standard |
±0.5 |
±0.5 |
±0.5 |
±1 |
||
|
電子分辨率Electronic Resolution(4) |
nm |
0.1, 0.3（選配） |
||||
|
正交性 Orthogonality |
高精版Plus |
arc sec |
±0.5 |
|||
|
普通版Standard |
±1 |
|||||
|
最大速度(空載)Max Speed (No Load)(5) |
m/s |
2 |
||||
|
最大加速度(空載)Max Acceleration (No Load)(5) |
m/s2 |
5,（10, 20, 30定制） |
||||
|
最大負(fù)載Max Load |
kg |
50 |
||||
|
供氣壓力Operating Pressure(6) |
MPa |
0.5±0.05 |
||||
|
型號(hào)Model |
單位Units |
QFDHSiC-300-700 |
QFDHSiC-300-1000 |
|||
|
軸系A(chǔ)xis(1) |
— |
X |
Y |
X |
Y |
|
|
行程Travel |
mm |
300 |
700 |
300 |
1000 |
|
|
補(bǔ)償后定位精度 Accuracy |
高精版Plus |
μm |
±50 |
±150 |
±50 |
±200 |
|
普通版Standard |
±75 |
±200 |
±75 |
±300 |
||
|
單向重復(fù)定位精度(2) Uni-Repeatability |
高精版Plus |
nm |
±3 |
±15 |
±3 |
±40 |
|
普通版Standard |
±10 |
±40 |
±10 |
±75 |
||
|
雙向重復(fù)定位精度(2) Bi-Dir Repeatability |
高精版Plus |
μm |
±5 |
±20 |
±5 |
±50 |
|
普通版Standard |
±15 |
±60 |
±15 |
±100 |
||
|
直線度(3) Straightness |
高精版Plus |
μm |
±0.15 |
±0.4 |
±0.15 |
±0.5 |
|
普通版Standard |
±0.25 |
±0.75 |
±0.25 |
±1 |
||
|
平面度(3) Flatness |
高精版Plus |
μm |
±0.15 |
±0.4 |
±0.15 |
±0.5 |
|
普通版Standard |
±0.25 |
±0.75 |
±0.25 |
±1 |
||
|
俯仰、翻滾、偏擺(3) Pitch Roll Yaw |
高精版Plus |
arc sec |
±0.1 |
±0.75 |
±0.1 |
±0.8 |
|
普通版Standard |
±0.5 |
±1.5 |
±0.5 |
±2 |
||
|
電子分辨率Electronic Resolution(4) |
nm |
0.1, 0.3（選配） |
||||
|
正交性 Orthogonality |
高精版Plus |
arc sec |
±0.5 |
|||
|
普通版Standard |
±1 |
|||||
|
最大速度(空載)Max Speed (No Load)(5) |
m/s |
2 |
||||
|
最大加速度(空載)Max Acceleration (No Load)(5) |
m/s2 |
5,（10, 20, 30定制） |
||||
|
最大負(fù)載Max Load |
kg |
50 |
||||
|
供氣壓力Operating Pressure(6) |
MPa |
0.5±0.05 |
||||
|
型號(hào)Model |
單位Units |
QFDHSiC-350-350 |
QFDHSiC-350-500 |
|||
|
軸系A(chǔ)xis(1) |
— |
X |
Y |
X |
Y |
|
|
行程Travel |
mm |
350 |
350 |
350 |
500 |
|
|
補(bǔ)償后定位精度 Accuracy |
高精版Plus |
μm |
±50 |
±50 |
±50 |
±100 |
|
普通版Standard |
±75 |
±75 |
±75 |
±150 |
||
|
單向重復(fù)定位精度(2) Uni-Repeatability |
高精版Plus |
nm |
±3 |
±3 |
±3 |
±7.5 |
|
普通版Standard |
±10 |
±10 |
±10 |
±20 |
||
|
雙向重復(fù)定位精度(2) Bi-Dir Repeatability |
高精版Plus |
μm |
±5 |
±5 |
±5 |
±10 |
|
普通版Standard |
±15 |
±15 |
±15 |
±30 |
||
|
直線度(3) Straightness |
高精版Plus |
μm |
±0.2 |
±0.2 |
±0.2 |
±0.25 |
|
普通版Standard |
±0.3 |
±0.3 |
±0.3 |
±0.45 |
||
|
平面度(3) Flatness |
高精版Plus |
μm |
±0.2 |
±0.2 |
±0.2 |
±0.25 |
|
普通版Standard |
±0.3 |
±0.3 |
±0.3 |
±0.45 |
||
|
俯仰、翻滾、偏擺(3) Pitch Roll Yaw |
高精版Plus |
arc sec |
±0.2 |
±0.2 |
±0.2 |
±0.4 |
|
普通版Standard |
±0.5 |
±0.5 |
±0.5 |
±1 |
||
|
電子分辨率Electronic Resolution(4) |
nm |
0.1, 0.3（選配） |
||||
|
正交性 Orthogonality |
高精版Plus |
arc sec |
±0.5 |
|||
|
普通版Standard |
±1 |
|||||
|
最大速度(空載)Max Speed (No Load)(5) |
m/s |
2 |
||||
|
最大加速度(空載)Max Acceleration (No Load)(5) |
m/s2 |
5,（10, 20, 30定制） |
||||
|
最大負(fù)載Max Load |
kg |
50 |
||||
|
供氣壓力Operating Pressure(6) |
MPa |
0.5±0.05 |
||||
|
型號(hào)Model |
單位Units |
QFDHSiC-350-700 |
QFDHSiC-350-1000 |
|||
|
軸系A(chǔ)xis(1) |
— |
X |
Y |
X |
Y |
|
|
行程Travel |
mm |
350 |
700 |
350 |
1000 |
|
|
補(bǔ)償后定位精度 Accuracy |
高精版Plus |
μm |
±50 |
±150 |
±50 |
±200 |
|
普通版Standard |
±75 |
±200 |
±75 |
±300 |
||
|
單向重復(fù)定位精度(2) Uni-Repeatability |
高精版Plus |
nm |
±3 |
±15 |
±3 |
±40 |
|
普通版Standard |
±10 |
±40 |
±10 |
±75 |
||
|
雙向重復(fù)定位精度(2) Bi-Dir Repeatability |
高精版Plus |
μm |
±5 |
±20 |
±5 |
±50 |
|
普通版Standard |
±15 |
±60 |
±15 |
±100 |
||
|
直線度(3) Straightness |
高精版Plus |
μm |
±0.2 |
±0.4 |
±0.2 |
±0.5 |
|
普通版Standard |
±0.3 |
±0.75 |
±0.3 |
±1 |
||
|
平面度(3) Flatness |
高精版Plus |
μm |
±0.2 |
±0.4 |
±0.2 |
±0.5 |
|
普通版Standard |
±0.3 |
±0.75 |
±0.3 |
±1 |
||
|
俯仰、翻滾、偏擺(3) Pitch Roll Yaw |
高精版Plus |
arc sec |
±0.2 |
±0.75 |
±0.2 |
±0.8 |
|
普通版Standard |
±0.5 |
±1.5 |
±0.5 |
±2 |
||
|
電子分辨率Electronic Resolution(4) |
nm |
0.1, 0.3（選配） |
||||
|
正交性 Orthogonality |
高精版Plus |
arc sec |
±0.5 |
|||
|
普通版Standard |
±1 |
|||||
|
最大速度(空載)Max Speed (No Load)(5) |
m/s |
2 |
||||
|
最大加速度(空載)Max Acceleration (No Load)(5) |
m/s2 |
5,（10, 20, 30定制） |
||||
|
最大負(fù)載Max Load |
kg |
50 |
||||
|
供氣壓力Operating Pressure(6) |
MPa |
0.5±0.05 |
||||
|
型號(hào)Model |
單位Units |
QFDHSiC-400-400 |
QFDHSiC-400-500 |
|||
|
軸系A(chǔ)xis(1) |
— |
X |
Y |
X |
Y |
|
|
行程Travel |
mm |
400 |
400 |
400 |
500 |
|
|
補(bǔ)償后定位精度 Accuracy |
高精版Plus |
μm |
±50 |
±50 |
±50 |
±100 |
|
普通版Standard |
±75 |
±75 |
±75 |
±150 |
||
|
單向重復(fù)定位精度(2) Uni-Repeatability |
高精版Plus |
nm |
±3 |
±3 |
±3 |
±7.5 |
|
普通版Standard |
±10 |
±10 |
±10 |
±20 |
||
|
雙向重復(fù)定位精度(2) Bi-Dir Repeatability |
高精版Plus |
μm |
±5 |
±5 |
±5 |
±10 |
|
普通版Standard |
±15 |
±15 |
±15 |
±30 |
||
|
直線度(3) Straightness |
高精版Plus |
μm |
±0.25 |
±0.25 |
±0.25 |
±0.25 |
|
普通版Standard |
±0.35 |
±0.35 |
±0.35 |
±0.45 |
||
|
平面度(3) Flatness |
高精版Plus |
μm |
±0.25 |
±0.25 |
±0.25 |
±0.25 |
|
普通版Standard |
±0.35 |
±0.35 |
±0.35 |
±0.45 |
||
|
俯仰、翻滾、偏擺(3) Pitch Roll Yaw |
高精版Plus |
arc sec |
±0.3 |
±0.3 |
±0.3 |
±0.4 |
|
普通版Standard |
±0.5 |
±0.5 |
±0.5 |
±1 |
||
|
電子分辨率Electronic Resolution(4) |
nm |
0.1, 0.3（選配） |
||||
|
正交性 Orthogonality |
高精版Plus |
arc sec |
±0.5 |
|||
|
普通版Standard |
±1 |
|||||
|
最大速度(空載)Max Speed (No Load)(5) |
m/s |
2 |
||||
|
最大加速度(空載)Max Acceleration (No Load)(5) |
m/s2 |
5,（10, 20, 30定制） |
||||
|
最大負(fù)載Max Load |
kg |
50 |
||||
|
供氣壓力Operating Pressure(6) |
MPa |
0.5±0.05 |
||||
|
型號(hào)Model |
單位Units |
QFDHSiC-400-700 |
QFDHSiC-400-1000 |
|||
|
軸系A(chǔ)xis(1) |
— |
X |
Y |
X |
Y |
|
|
行程Travel |
mm |
400 |
700 |
400 |
1000 |
|
|
補(bǔ)償后定位精度 Accuracy |
高精版Plus |
μm |
±50 |
±150 |
±50 |
±200 |
|
普通版Standard |
±75 |
±200 |
±75 |
±300 |
||
|
單向重復(fù)定位精度(2) Uni-Repeatability |
高精版Plus |
nm |
±3 |
±15 |
±3 |
±40 |
|
普通版Standard |
±10 |
±40 |
±10 |
±75 |
||
|
雙向重復(fù)定位精度(2) Bi-Dir Repeatability |
高精版Plus |
μm |
±5 |
±20 |
±5 |
±50 |
|
普通版Standard |
±15 |
±60 |
±15 |
±100 |
||
|
直線度(3) Straightness |
高精版Plus |
μm |
±0.25 |
±0.4 |
±0.25 |
±0.5 |
|
普通版Standard |
±0.35 |
±0.75 |
±0.35 |
±1 |
||
|
平面度(3) Flatness |
高精版Plus |
μm |
±0.25 |
±0.4 |
±0.25 |
±0.5 |
|
普通版Standard |
±0.35 |
±0.75 |
±0.35 |
±1 |
||
|
俯仰、翻滾、偏擺(3) Pitch Roll Yaw |
高精版Plus |
arc sec |
±0.3 |
±0.75 |
±0.3 |
±0.8 |
|
普通版Standard |
±0.5 |
±1.5 |
±0.5 |
±2 |
||
|
電子分辨率Electronic Resolution(4) |
nm |
0.1, 0.3（選配） |
||||
|
正交性 Orthogonality |
高精版Plus |
arc sec |
±0.5 |
|||
|
普通版Standard |
±1 |
|||||
|
最大速度(空載)Max Speed (No Load)(5) |
m/s |
2 |
||||
|
最大加速度(空載)Max Acceleration (No Load)(5) |
m/s2 |
5,（10, 20, 30定制） |
||||
|
最大負(fù)載Max Load |
kg |
50 |
||||
|
供氣壓力Operating Pressure(6) |
MPa |
0.5±0.05 |
||||
注：
以上為單軸精度指標(biāo)，測(cè)試點(diǎn)在負(fù)載板上25mm處，測(cè)試環(huán)境，請(qǐng)咨詢我們。
1. X軸為橫梁軸，Y軸為雙驅(qū)龍門軸，行程可根據(jù)需求定制；
2. 重復(fù)定位精度≤ ±10nm，需要加激光尺或雙頻干涉儀和長(zhǎng)條反射鏡做反饋；
3. 取決于平臺(tái)安裝表面的平面度；
4. 電子分辨率取決光柵尺及控制器的細(xì)分倍數(shù)，電子分辨率≤0.1nm，需要用干涉儀做反饋；
5. 空載條件下指標(biāo)，最大速度和加速度取決于負(fù)載大?。?/span>
6. 為保護(hù)氣浮導(dǎo)軌建議加裝壓力保護(hù)開關(guān)。壓縮空氣必須是清潔的（過(guò)濾至0.25μm或更佳，ISO8573-1），無(wú)水（壓力露點(diǎn)-20℃，ISO8573-1級(jí)別3）及無(wú)油（ISO8573-1級(jí)別1）
7. 無(wú)特殊項(xiàng)目要求，出廠默認(rèn)為準(zhǔn)。
