產(chǎn)品詳情
產(chǎn)品特點(diǎn)
三軸直驅(qū)結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)
Z軸直驅(qū)平升結(jié)構(gòu)
抗蠕動(dòng)交叉滾柱導(dǎo)軌
高動(dòng)態(tài)性能，高精度
百納米級(jí)定位精度
結(jié)構(gòu)可接受定制
應(yīng)用領(lǐng)域
RBLBAC-XY-SG系列是一款高精度三軸精密運(yùn)動(dòng)臺(tái)，三軸疊層緊湊式結(jié)構(gòu)，亞微米級(jí)精度用于飛秒激光加工、光學(xué)制造及檢測(cè)、基因測(cè)序和科研等領(lǐng)域。
結(jié)構(gòu)特點(diǎn)
XY軸采用雙直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)，推力大，高動(dòng)態(tài)性能，在低速運(yùn)行時(shí)保持平穩(wěn)，在高速狀態(tài)不會(huì)產(chǎn)生振動(dòng)。抗蠕動(dòng)交叉滾柱直線導(dǎo)軌導(dǎo)向，線線接觸，交叉排列，多方向受力穩(wěn)定。疊層式緊湊結(jié)構(gòu)，降低XY軸高度，提升整體精度性能，行程50~310mm可選。Z軸直驅(qū)平升結(jié)構(gòu)，行程可選10~50mm，直接移動(dòng)負(fù)載升降，可選配抱閘功能，防止斷電掉落。
精度性能
非接觸式光柵閉環(huán)反饋，XY軸雙向重復(fù)定位精度±20nm，直線度和平面度優(yōu)于±1.5μm；Z軸重復(fù)定位精度±0.075μm，直線度±0.75μm，是高精度場(chǎng)所的理想選擇。
精密控制
配合高性能的控制和驅(qū)動(dòng)器，可提供優(yōu)異的伺服性能、先進(jìn)的控制算法，從而提高動(dòng)態(tài)性能，控制器有定位誤差補(bǔ)償功能。
定制化設(shè)計(jì)
定制斷電抱閘功能，抱閘后位置相比抱閘前位置漂移誤差20nm內(nèi)；定制最大加速度；可配置大理石基座、支撐鋼架、隔振器等整套運(yùn)動(dòng)控制方案。
規(guī)格指標(biāo)
|
型號(hào)Model |
單位Units |
RBLBAC-50XY-10SG |
RBLBAC-100XY-20SG |
||||
|
行程Travel |
mm |
50 x 50 |
10 |
100 x 100 |
20 |
||
|
補(bǔ)償后定位精度 Accuracy |
超精版Ultra |
μm |
±0.05 |
— |
±0.05 |
— |
|
|
高精版Plus |
±0.1 |
±0.1 |
±0.1 |
±0.1 |
|||
|
普通版Standard |
±0.4 |
±1 |
±0.4 |
±1 |
|||
|
單向重復(fù)定位精度 Uni-Repeatability |
超精版Ultra |
nm |
±7.5 |
— |
±7.5 |
— |
|
|
高精版Plus |
±20 |
— |
±40 |
— |
|||
|
普通版Standard |
±30 |
— |
±75 |
— |
|||
|
雙向重復(fù)定位精度 Bi-DirRepeatability |
超精版Ultra |
μm |
±0.01 |
— |
±0.01 |
— |
|
|
高精版Plus |
±0.05 |
±0.05 |
±0.05 |
±0.05 |
|||
|
普通版Standard |
±0.1 |
±0.5 |
±0.1 |
±0.5 |
|||
|
直線度(1) Straightness |
高精版Plus |
μm |
±0.4 |
±0.5 |
±0.4 |
±0.5 |
|
|
普通版Standard |
±1 |
±3 |
±1 |
±3 |
|||
|
平面度(1) Flatness |
高精版Plus |
μm |
±0.75 |
— |
±0.75 |
— |
|
|
普通版Standard |
±1 |
— |
±1 |
— |
|||
|
俯仰、翻滾(1) Pitch Roll |
高精版Plus |
arc sec |
±3 |
±2.5 |
±3 |
±2.5 |
|
|
普通版Standard |
±6 |
±5 |
±6 |
±5 |
|||
|
偏擺(1) Yaw |
高精版Plus |
arc sec |
±1.5 |
±2 |
±1.5 |
±2 |
|
|
普通版Standard |
±3 |
±5 |
±3 |
±5 |
|||
|
電子分辨率Electronic Resolution(2) |
nm |
≤ 1, ≤5（選配） |
|||||
|
最大速度(空載) Max Speed (No Load)(3) |
mm/s |
100 |
10 |
300 |
10 |
||
|
最大負(fù)載Max Load |
kg |
10 |
10 |
||||
|
型號(hào)Model |
單位Units |
RBLBAC-210XY-35SG |
RBLBAC-310XY-50SG |
||||
|
行程Travel |
mm |
210 x 210 |
35 |
310 x 310 |
50 |
||
|
補(bǔ)償后定位精度 Accuracy |
超精版Ultra |
μm |
±0.1 |
— |
±0.1 |
— |
|
|
高精版Plus |
±0.15 |
±0.15 |
±0.3 |
±0.15 |
|||
|
普通版Standard |
±0.5 |
±1 |
±0.75 |
±1 |
|||
|
單向重復(fù)定位精度 Uni-Repeatability |
超精版Ultra |
nm |
±10 |
— |
±15 |
— |
|
|
高精版Plus |
±50 |
— |
±50 |
— |
|||
|
普通版Standard |
±75 |
— |
±75 |
— |
|||
|
雙向重復(fù)定位精度 Bi-DirRepeatability |
超精版Ultra |
μm |
±0.015 |
— |
±0.02 |
— |
|
|
高精版Plus |
±0.075 |
±0.075 |
±0.075 |
±0.075 |
|||
|
普通版Standard |
±0.1 |
±0.5 |
±0.1 |
±0.5 |
|||
|
直線度(1) Straightness |
高精版Plus |
μm |
±0.5 |
±0.5 |
±0.75 |
±0.75 |
|
|
普通版Standard |
±1.5 |
±4 |
±2 |
±5 |
|||
|
平面度(1) Flatness |
高精版Plus |
μm |
±1 |
— |
±1.5 |
— |
|
|
普通版Standard |
±1.5 |
— |
±2 |
— |
|||
|
俯仰、翻滾(1) Pitch Roll |
高精版Plus |
arc sec |
±4 |
±2.5 |
±5 |
±3.5 |
|
|
普通版Standard |
±7.5 |
±5 |
±9 |
±7 |
|||
|
偏擺(1) Yaw |
高精版Plus |
arc sec |
±2 |
±2 |
±2.5 |
±3 |
|
|
普通版Standard |
±4 |
±5 |
±5 |
±7 |
|||
|
電子分辨率Electronic Resolution(2) |
nm |
≤ 1, ≤5（選配） |
|||||
|
最大速度(空載) Max Speed (No Load)(3) |
mm/s |
300 |
10 |
300 |
50 |
||
|
最大負(fù)載Max Load |
kg |
10 |
10 |
||||
注：
以上為單軸精度指標(biāo)，在潔凈間內(nèi)測(cè)試，溫度20℃±1℃（重復(fù)定位精度優(yōu)于±50nm，測(cè)量時(shí)溫度20℃±0.01℃），濕度40%~60%RH，振動(dòng)等級(jí)VC-F，測(cè)試點(diǎn)在負(fù)載板上25mm處，測(cè)試速度10mm/s，Renishaw激光干涉儀測(cè)量及自帶分析方法，多軸系統(tǒng)的精度測(cè)試與負(fù)載尺寸及測(cè)試點(diǎn)高度有關(guān)，環(huán)境的變化會(huì)導(dǎo)致精度變化，如要求非標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試，請(qǐng)咨詢我們。
1. 取決于平臺(tái)安裝表面的平面度。
2. 電子分辨率取決光柵尺及控制器的細(xì)分倍數(shù)。
3. 空載條件下指標(biāo)，最大速度和加速度取決于負(fù)載大小。
4. 無特殊項(xiàng)目要求，出廠默認(rèn)為準(zhǔn)。
