產(chǎn)品詳情
Polytec德國MSA-600顯微式激光測振儀
Polytec德國MSA-600顯微式激光測振儀
MSA-600顯微式激光測振儀
型號： MSA-600-M (標準) MSA-600-V (帶寬擴展)
表面形貌、動態(tài)運動分析及可視化是MEMS器件等微型結(jié)構的測試和研發(fā)的關鍵，這對于驗證有限元算法、確定串擾效應和測量表面形變是必不可少的。
MSA-600是集面外振動、面內(nèi)振動、及表面形貌測量功能于一體的光學測量工作站。系統(tǒng)具有極高的靈活性和精度，以滿足顯微結(jié)構未來的發(fā)展需要。顯微式激光測振儀可提供精確的三維動態(tài)和靜態(tài)響應數(shù)據(jù)，在降低開發(fā)和制造成本的同時提高產(chǎn)品性能，從而縮短設計周期，簡化故障處理，提高產(chǎn)品產(chǎn)量。
典型應用
· 微型結(jié)構的面外振動，測量單點振動或者兩點間的相對振動
如：梳齒驅(qū)動器、射頻MEMS開關、FEM有限元模型驗證、CMUT、PMUT超聲換能器、MEMS薄膜壓力傳感器、PZT壓電懸臂梁等
· 微型結(jié)構的面內(nèi)振動
如：梳齒驅(qū)動器、MEMS扭轉(zhuǎn)激振器、壓電陶瓷制動器的橫向運動
· 微型結(jié)構的表面形貌
如：梳齒驅(qū)動器、微型齒輪、微流量傳感器、懸臂梁等表面形貌
產(chǎn)品亮點：
· 集多功能于一體的光學測量工作站
· 真正的實時測量，無需數(shù)據(jù)后處理
· 的亞pm位移分辨率
· 測量速度快，振型可視化顯示
· 操作界面直觀友好
· 全自動化測量，易于集成至商用探針臺上
【MSA-600系統(tǒng)配置】
基本配置： 面外振動頻率為2.5 MHz
選配件
頻率擴展： 面外振動頻率達25 MHz
差分測量： 面外振動可進行差分測量
面內(nèi)運動分析： 面內(nèi)振動測量
形貌測量： 表面形貌測量
【面外振動測量】
測量原理 激光多普勒原理
型號： MSA-600-M (標準) MSA-600-V (帶寬擴展)
最大頻率： 2.5 MHz 25 MHz
檔位數(shù)量： 13 個速度檔位 13 個速度檔位
最大振動速度： 0.001 ? m/s … ? 10 m/s,與檔位有關 0.001 m/s … 10 m/s,與檔位有關
速度分辨率均值1：0.005(μm/s)/√Hz … 1 (μm/ s)/√Hz,與檔位和頻率有關
位移分辨率 50 fm/√Hz 50 fm/√Hz
【面內(nèi)振動測量】
測量原理 頻閃法
型號 MSA-600 帶面內(nèi)振動測量模塊
帶寬 1 Hz … 2.5 MHz
max速度 > 0.1 m/s … 10 m/s（與鏡頭放大倍數(shù)有關）
鏡頭放大倍數(shù)2 1x … 100x
位移分辨率3 5 nm
時間分辨率 100 ns (頻閃曝光時間); 頻閃最大間隔時間 ±40 ns
系統(tǒng)輸出 位移量、波特圖、階躍響應、衰減曲線、軌跡圖等
【光學部分技術參數(shù)】
MSA-I-600 光學頭
激光波長 532 nm
激光安全等級 class 3R (可見光輸出小于5 mW)
照明光源波長 470 nm
照明光源安全等級 class 2 LED 燈(可見光輸出小于20 mW)
攝像機 全場逐行掃描
攝像機分辨率 1732 x 1200 像素
攝像機幀速 56 fps
德國Polytec掃描儀、激光測振儀、光學頭、光學振動測量系統(tǒng)主要型號：
激光振動計、光學測振儀
激光多普勒測振儀
激光測振計
（激光）多普勒振動傳感器
非接觸式振動傳感器/測量儀
光學振動測量系統(tǒng)
【一】單點式激光測振儀
CLV-2534-3激光測振儀
IVS-500 工業(yè)用激光測振儀
VFX-F-110激光測振儀
VibroFlex QTec VFX-I-160超低噪聲光學頭
VibroGo便攜式激光測振儀
【二】全場掃描式激光測振儀
VibroScan QTec Xtra、VibroScan QTec Xtra 3D全場掃描式激光測振儀
PSV QTec 3D超低噪聲三維掃描式激光測振儀
PSV QTec超低噪聲掃描式激光測振儀
ROBOVIB 機器人測振站
PSV-500-3D 掃描式激光測振儀：PSV-500-3D-H、PSV-500-3D-M、PSV-500-3D-HV
PSV-500 掃描式激光測振儀：PSV-500-B增強型、PSV-500-B高分率型、PSV-500-H、PSV-500-M、PSV-500-HV
MPV-800 多點式激光測振儀
【三】特殊應用激光測振儀
VibroFlex Range 超遠距離激光測振儀
RLV-5500 旋轉(zhuǎn)式激光測振儀
HSV-100 高速型激光測振儀
IPV-100 面內(nèi)激光測振儀
【四】顯微式激光測振儀
MSA-650 IRIS顯微式激光測振儀
MSA-600 顯微式激光測振儀 ：MSA-600-M (標準) MSA-600-V (帶寬擴展)
MSA-100-3D顯微式測振儀
MSA-050顯微式激光測振儀
【五】形貌測量儀
Pro.Surf大視場3D輪廓儀
Micro.View白光干涉儀
關于 Polytec已停產(chǎn)的型號（具體停產(chǎn)時間可能因產(chǎn)品線更新而異）：
【1. 激光測振儀（Laser Vibrometers）】
OFV-5000系列 （早期型號，已被OFV-5500/OFV-6000替代）
OFV-3000系列 （較老版本）
RSV-150 （遠程振動傳感系統(tǒng)，部分功能由新系統(tǒng)替代）
【2. 工業(yè)傳感器（Industrial Sensors）】
ILD 1400/1700 （舊版激光位移傳感器）
ILD 2200 （早期型號，后續(xù)被ILD 2300等替代）
OADM 12/I （舊版光學距離傳感器）
【3. 其他光學系統(tǒng)】
PSV-300/400 （掃描式激光測振儀，已被PSV-500系列取代）
VibroFlex （某些舊型號）
Polytec德國MSA-600顯微式激光測振儀
吳經(jīng)理：132.4667.5433
MSA-600顯微式激光測振儀
型號： MSA-600-M (標準) MSA-600-V (帶寬擴展)
表面形貌、動態(tài)運動分析及可視化是MEMS器件等微型結(jié)構的測試和研發(fā)的關鍵，這對于驗證有限元算法、確定串擾效應和測量表面形變是必不可少的。
MSA-600是集面外振動、面內(nèi)振動、及表面形貌測量功能于一體的光學測量工作站。系統(tǒng)具有極高的靈活性和精度，以滿足顯微結(jié)構未來的發(fā)展需要。顯微式激光測振儀可提供精確的三維動態(tài)和靜態(tài)響應數(shù)據(jù)，在降低開發(fā)和制造成本的同時提高產(chǎn)品性能，從而縮短設計周期，簡化故障處理，提高產(chǎn)品產(chǎn)量。
典型應用
· 微型結(jié)構的面外振動，測量單點振動或者兩點間的相對振動
如：梳齒驅(qū)動器、射頻MEMS開關、FEM有限元模型驗證、CMUT、PMUT超聲換能器、MEMS薄膜壓力傳感器、PZT壓電懸臂梁等
· 微型結(jié)構的面內(nèi)振動
如：梳齒驅(qū)動器、MEMS扭轉(zhuǎn)激振器、壓電陶瓷制動器的橫向運動
· 微型結(jié)構的表面形貌
如：梳齒驅(qū)動器、微型齒輪、微流量傳感器、懸臂梁等表面形貌
產(chǎn)品亮點：
· 集多功能于一體的光學測量工作站
· 真正的實時測量，無需數(shù)據(jù)后處理
· 的亞pm位移分辨率
· 測量速度快，振型可視化顯示
· 操作界面直觀友好
· 全自動化測量，易于集成至商用探針臺上
【MSA-600系統(tǒng)配置】
基本配置： 面外振動頻率為2.5 MHz
選配件
頻率擴展： 面外振動頻率達25 MHz
差分測量： 面外振動可進行差分測量
面內(nèi)運動分析： 面內(nèi)振動測量
形貌測量： 表面形貌測量
【面外振動測量】
測量原理 激光多普勒原理
型號： MSA-600-M (標準) MSA-600-V (帶寬擴展)
最大頻率： 2.5 MHz 25 MHz
檔位數(shù)量： 13 個速度檔位 13 個速度檔位
最大振動速度： 0.001 ? m/s … ? 10 m/s,與檔位有關 0.001 m/s … 10 m/s,與檔位有關
速度分辨率均值1：0.005(μm/s)/√Hz … 1 (μm/ s)/√Hz,與檔位和頻率有關
位移分辨率 50 fm/√Hz 50 fm/√Hz
【面內(nèi)振動測量】
測量原理 頻閃法
型號 MSA-600 帶面內(nèi)振動測量模塊
帶寬 1 Hz … 2.5 MHz
max速度 > 0.1 m/s … 10 m/s（與鏡頭放大倍數(shù)有關）
鏡頭放大倍數(shù)2 1x … 100x
位移分辨率3 5 nm
時間分辨率 100 ns (頻閃曝光時間); 頻閃最大間隔時間 ±40 ns
系統(tǒng)輸出 位移量、波特圖、階躍響應、衰減曲線、軌跡圖等
【光學部分技術參數(shù)】
MSA-I-600 光學頭
激光波長 532 nm
激光安全等級 class 3R (可見光輸出小于5 mW)
照明光源波長 470 nm
照明光源安全等級 class 2 LED 燈(可見光輸出小于20 mW)
攝像機 全場逐行掃描
攝像機分辨率 1732 x 1200 像素
攝像機幀速 56 fps
德國Polytec掃描儀、激光測振儀、光學頭、光學振動測量系統(tǒng)主要型號：
激光振動計、光學測振儀
激光多普勒測振儀
激光測振計
（激光）多普勒振動傳感器
非接觸式振動傳感器/測量儀
光學振動測量系統(tǒng)
【一】單點式激光測振儀
CLV-2534-3激光測振儀
IVS-500 工業(yè)用激光測振儀
VFX-F-110激光測振儀
VibroFlex QTec VFX-I-160超低噪聲光學頭
VibroGo便攜式激光測振儀
【二】全場掃描式激光測振儀
VibroScan QTec Xtra、VibroScan QTec Xtra 3D全場掃描式激光測振儀
PSV QTec 3D超低噪聲三維掃描式激光測振儀
PSV QTec超低噪聲掃描式激光測振儀
ROBOVIB 機器人測振站
PSV-500-3D 掃描式激光測振儀：PSV-500-3D-H、PSV-500-3D-M、PSV-500-3D-HV
PSV-500 掃描式激光測振儀：PSV-500-B增強型、PSV-500-B高分率型、PSV-500-H、PSV-500-M、PSV-500-HV
MPV-800 多點式激光測振儀
【三】特殊應用激光測振儀
VibroFlex Range 超遠距離激光測振儀
RLV-5500 旋轉(zhuǎn)式激光測振儀
HSV-100 高速型激光測振儀
IPV-100 面內(nèi)激光測振儀
【四】顯微式激光測振儀
MSA-650 IRIS顯微式激光測振儀
MSA-600 顯微式激光測振儀 ：MSA-600-M (標準) MSA-600-V (帶寬擴展)
MSA-100-3D顯微式測振儀
MSA-050顯微式激光測振儀
【五】形貌測量儀
Pro.Surf大視場3D輪廓儀
Micro.View白光干涉儀
關于 Polytec已停產(chǎn)的型號（具體停產(chǎn)時間可能因產(chǎn)品線更新而異）：
【1. 激光測振儀（Laser Vibrometers）】
OFV-5000系列 （早期型號，已被OFV-5500/OFV-6000替代）
OFV-3000系列 （較老版本）
RSV-150 （遠程振動傳感系統(tǒng)，部分功能由新系統(tǒng)替代）
【2. 工業(yè)傳感器（Industrial Sensors）】
ILD 1400/1700 （舊版激光位移傳感器）
ILD 2200 （早期型號，后續(xù)被ILD 2300等替代）
OADM 12/I （舊版光學距離傳感器）
【3. 其他光學系統(tǒng)】
PSV-300/400 （掃描式激光測振儀，已被PSV-500系列取代）
VibroFlex （某些舊型號）
