產(chǎn)品詳情
負(fù)責(zé)人：吳經(jīng)理 132.4667.5433
Pro.Surf大視場3D輪廓儀
TopMap Pro.Surf系列產(chǎn)品，基于白光干涉原理，以最前沿的CSI與Corelogram相結(jié)合的CST技術(shù)為核心，是一款特點的光學(xué)3D輪廓儀。TopMap Pro.Surf系列光學(xué)3D輪廓儀集非接觸、大視場、納米級精度和70mm超大掃描范圍等技術(shù)特點于一身，能夠滿足從光滑到粗糙表面、從極深色、超低反射率到全反射表面等幾乎所有表面輪廓的測量，此外還能夠提供基于ISO25178/1101/4287/13565/21920/12781和ASME B46等標(biāo)準(zhǔn)的多種參數(shù)分析與評價，如粗糙度、平面度、臺階高度、平行度、波紋度等，廣泛應(yīng)用于汽車工業(yè)、燃油噴射系統(tǒng)、傳動、密封、光學(xué)加工、精密半導(dǎo)體及3C行業(yè)和航天、航空、國防軍工和科研院所等領(lǐng)域。
典型應(yīng)用：
半導(dǎo)體：襯底、外延片平坦度和形貌測量，精密器件及傳感器
汽車行業(yè)：空氣懸掛組件，精密傳動組件，燃油噴射系統(tǒng)，高壓油泵
密封行業(yè)：精密密封表面、泵閥類密封組件
表面工程：摩擦學(xué)，涂層厚度，形變分析
3C電子：電子元件平整度，引腳位置，屏幕平面度、厚度均勻性，印刷電路
手表：組件平面度、臺階高度、平行度、輪廓，表鏡
產(chǎn)品亮點：
1.45nm分辨率
單次掃描視場高達(dá)45x34mm，支持視場拼接拓展至228x221mm
橫向分辨率低至14.3微米
非接觸、垂直掃描測量模式，掃描范圍達(dá)70mm
沒有外置物鏡，無碰撞風(fēng)險
磁懸浮式掃描導(dǎo)軌，無損耗
高精度：
典型平面度偏差優(yōu)于75納米
典型臺階高度偏差優(yōu)于0.026%（評估≥0.45mm臺階）
高重復(fù)性：
平面度重復(fù)性偏差優(yōu)于5納米
臺階高度重復(fù)性優(yōu)于0.011%（評估≥0.45mm臺階）
支持深孔和盲孔測量
支持隔窗測量
支持在線集成方案
激光多普勒測振儀、激光測振計
（激光）多普勒振動傳感器
非接觸式振動傳感器/測量儀
光學(xué)振動測量系統(tǒng)
【一】單點式激光測振儀
CLV-2534-3激光測振儀
IVS-500 工業(yè)用激光測振儀
VFX-F-110激光測振儀
VibroFlex QTec VFX-I-160超低噪聲光學(xué)頭
VibroGo便攜式激光測振儀
【二】全場掃描式激光測振儀
VibroScan QTec Xtra、VibroScan QTec Xtra 3D全場掃描式激光測振儀
PSV QTec 3D超低噪聲三維掃描式激光測振儀
PSV QTec超低噪聲掃描式激光測振儀
ROBOVIB 機(jī)器人測振站
PSV-500-3D 掃描式激光測振儀
PSV-500 掃描式激光測振儀
MPV-800 多點式激光測振儀
【三】特殊應(yīng)用激光測振儀
VibroFlex Range 超遠(yuǎn)距離激光測振儀
RLV-5500 旋轉(zhuǎn)式激光測振儀
HSV-100 高速型激光測振儀
IPV-100 面內(nèi)激光測振儀
【四】顯微式激光測振儀
MSA-650 IRIS顯微式激光測振儀
MSA-600 顯微式激光測振儀
MSA-100-3D顯微式測振儀
MSA-050顯微式激光測振儀
【五】形貌測量儀
Pro.Surf大視場3D輪廓儀
Micro.View白光干涉儀
關(guān)于 Polytec（德國Polytec GmbH） 已停產(chǎn)的型號，該公司主要生產(chǎn)激光測振儀、光學(xué)測量系統(tǒng)、傳感器和工業(yè)測量設(shè)備 。以下是部分已知的已停產(chǎn)或舊型號（具體停產(chǎn)時間可能因產(chǎn)品線更新而異）：
【1. 激光測振儀（Laser Vibrometers）】
OFV-5000系列 （早期型號，已被OFV-5500/OFV-6000替代）
OFV-3000系列 （較老版本）
RSV-150 （遠(yuǎn)程振動傳感系統(tǒng)，部分功能由新系統(tǒng)替代）
【2. 工業(yè)傳感器（Industrial Sensors）】
ILD 1400/1700 （舊版激光位移傳感器）
ILD 2200 （早期型號，后續(xù)被ILD 2300等替代）
OADM 12/I （舊版光學(xué)距離傳感器）
【3. 其他光學(xué)系統(tǒng)】
PSV-300/400 （掃描式激光測振儀，已被PSV-500系列取代）
VibroFlex （某些舊型號）
