MSA-650 IRIS顯微式激光測振儀德國Polytec
負(fù)責(zé)人：吳經(jīng)理   132.4667.5433

簡介：

MSA-650 IRIS顯微式激光測振儀
使用光學(xué)測試硅封裝MEMS器件內(nèi)部振動(dòng)特性
MEMS器件的動(dòng)態(tài)特性測試和機(jī)械響應(yīng)可視化對于產(chǎn)品開發(fā)、故障排除和有限元模型驗(yàn)證來說非常重要。Polytec公司的MSA顯微式激光測振儀能快速、準(zhǔn)確地測試顯微結(jié)構(gòu)的面外振動(dòng)(OOP)和面內(nèi)振動(dòng)(IP)。全新的MSA-650 IRIS顯微式激光測振儀甚至可以透過完整的微型硅密封器件進(jìn)行測試，如慣性傳感器，MEMS麥克風(fēng)，壓力傳感器等。     
典型應(yīng)用   
  ·  慣性傳感器，如加速度計(jì)和陀螺儀
  ·  微機(jī)電傳感器和致動(dòng)器 (MEMS) 
  ·  打印機(jī)噴墨頭
  ·  壓力傳感器薄膜
  ·  耳機(jī)、微型鏡頭等
亮點(diǎn)
· 通過硅封裝器件的不同層測試MEMS動(dòng)態(tài)特性、
· 實(shí)時(shí)面外振動(dòng)測試，最大帶寬高達(dá)25 MHz
· 亞皮米級(jí)面外振動(dòng)位移分辨率
· 易于集成至生產(chǎn)線上的自動(dòng)測試系統(tǒng)(兼容商用探針臺(tái))
· 頻閃法測試面內(nèi)振動(dòng)，帶寬高達(dá)2.5 MHz
· 更好地分離器件的各個(gè)層
· MEMS器件的最終有限元模型驗(yàn)證
【更好地分離器件的各個(gè)層】
MSA-650 IRIS測試系統(tǒng)包括控制器、帶有額外參考通道的信號(hào)發(fā)生器，超高精度紅外光源的光學(xué)頭和強(qiáng)大的配套軟件包。其專用的紅外相機(jī)和低相干SLD源，是在其透過硅帽獲取完整硅封裝結(jié)構(gòu)在工作條件下的整個(gè)層制結(jié)構(gòu)的動(dòng)態(tài)特性的關(guān)鍵。
【硅封裝MEMS器件的模態(tài)測試】
由于硅在波長為1050nm以上的近紅外光譜中是透明的，基于紅外干涉儀的振動(dòng)測量技術(shù)使得獲取密封MEMS器件最真實(shí)和最有代表性的振動(dòng)特性成為可能。
Polytec全新的的且已獲得技術(shù)的MSA系統(tǒng)能確保數(shù)據(jù)質(zhì)量，更好的分離MEMS器件的各個(gè)層。MSA-650 IRIS顯微式激光測振儀內(nèi)置專用紅外相機(jī)和低相干SLD源，是目前世界上唯一能透過硅封裝結(jié)構(gòu)獲取完整動(dòng)態(tài)特性的系統(tǒng)，其實(shí)時(shí)面外振動(dòng)帶寬高達(dá)25MHz，面內(nèi)振動(dòng)分辨率低至30nm。

【一】單點(diǎn)式激光測振儀
CLV-2534-3激光測振儀
IVS-500 工業(yè)用激光測振儀
VFX-F-110激光測振儀
VibroFlex QTec VFX-I-160超低噪聲光學(xué)頭
VibroGo便攜式激光測振儀
【二】全場掃描式激光測振儀
VibroScan QTec Xtra、VibroScan QTec Xtra 3D全場掃描式激光測振儀
PSV QTec 3D超低噪聲三維掃描式激光測振儀
PSV QTec超低噪聲掃描式激光測振儀
ROBOVIB 機(jī)器人測振站
PSV-500-3D 掃描式激光測振儀
PSV-500 掃描式激光測振儀
MPV-800 多點(diǎn)式激光測振儀
【三】特殊應(yīng)用激光測振儀
VibroFlex Range 超遠(yuǎn)距離激光測振儀
RLV-5500 旋轉(zhuǎn)式激光測振儀
HSV-100 高速型激光測振儀
IPV-100 面內(nèi)激光測振儀
【四】顯微式激光測振儀
MSA-650 IRIS顯微式激光測振儀 
MSA-600 顯微式激光測振儀 
MSA-100-3D顯微式測振儀 
MSA-050顯微式激光測振儀
【五】形貌測量儀
Pro.Surf大視場3D輪廓儀
Micro.View白光干涉儀
關(guān)于 Polytec（德國Polytec GmbH） 已停產(chǎn)的型號(hào)，該公司主要生產(chǎn)激光測振儀、光學(xué)測量系統(tǒng)、傳感器和工業(yè)測量設(shè)備 。以下是部分已知的已停產(chǎn)或舊型號(hào)（具體停產(chǎn)時(shí)間可能因產(chǎn)品線更新而異）：
【1. 激光測振儀（Laser Vibrometers）】
OFV-5000系列 （早期型號(hào)，已被OFV-5500/OFV-6000替代）
OFV-3000系列 （較老版本）
RSV-150 （遠(yuǎn)程振動(dòng)傳感系統(tǒng)，部分功能由新系統(tǒng)替代）
【2. 工業(yè)傳感器（Industrial Sensors）】
ILD 1400/1700 （舊版激光位移傳感器）
ILD 2200 （早期型號(hào)，后續(xù)被ILD 2300等替代）
OADM 12/I （舊版光學(xué)距離傳感器）
【3. 其他光學(xué)系統(tǒng)】
PSV-300/400 （掃描式激光測振儀，已被PSV-500系列取代）
VibroFlex （某些舊型號(hào)）

【英國Hansford Sensor振動(dòng)變送器】
HS-4200250108
HS-420IFL0255008T4
HS-420F1000108-010
HS-100S5005002
HS-420I0200105-005
HS-1042505406V3.3
HS-1045005406V3.3
HANSFORD SENSORS HS-620
HS-4290255408
【韓國MKP流量計(jì)】流量傳感器、控制器
VIC-D145，VIC-D150、VIC-D210，VIC-D220，VIC-D240，VIC-D245
TSC-145、TSC-150、TSC-230、TSC-220、TSC-245
TSM-D210、TSM-D220D、TSM-D230、TSM-D240D
【韓國HITROL】
HCC-95PH、HCC-609N
HE-3H、HE-5H選配了PVC法蘭
HFS-2S、HFS-2T  槳式流量開關(guān)
HLC-96RF-R
HLC-100-P
HLC-200A   電極式液位開關(guān)
HLC-300、HLC-400
HLC-901-L、HLC-901PN
HLC-901P超老款
HLC-901P老款
HLC-901P新款
HLV-300
HM-12H、HM-12S
HPC-95P
HPC-100CT-2、HPC-100CTW-2、HPC-1000CTH-2
HQ-3
HQ-36-2F、HQ-66-3F、HQ-66-4F
HR-30C-4FHR-30S-2F
HR-30S-2F(L585)(1)
HR-30SH-1F、HR-30TH-1F、HR-30V-3F
HT-100、HT-100CT、HT-100CT-2、HT-100RS-EX
HT-100RS-L、HT-100RT、HT-100RTH
HTM-20N-A
HTM-921、HTM-930N、HTM-930
R-I CONVERTER
新款HT-100RT