產(chǎn)品詳情
MX63顯微鏡用于半導體觀察
MX63顯微鏡用于半導體觀察
讓您的大尺寸樣品檢測流程更加順暢
MX63和MX63L顯微鏡系統(tǒng)特別適合尺寸大300毫米的晶圓、平板顯示器、電路板、以及其他大尺寸樣品的高質(zhì)量檢測。其采用的模塊化設計可讓您根據(jù)需要選擇組件，獲得根據(jù)應用定制的系統(tǒng)。
這兩款符合人體工學設計且人性化的顯微鏡有助于在提高工作效率的同時保持檢測者的工作舒適性。在與奧林巴斯Stream圖像分析軟件結合使用情況下，可以簡化從觀察到報告生成的整體工作流。
| MX63 | MX63L | ||
| 光學系統(tǒng) | UIS2光學系統(tǒng)(無限遠校正系統(tǒng)) | ||
| 顯微鏡鏡架 | 反射光照明 |
白光LED (帶有光強度控制器) 12伏100瓦鹵素燈, 100瓦汞燈 明場/暗場/分光鏡組件手動切換。(反射鏡分光鏡組件為選配件。) 通過手動操作調(diào)整3位編碼分光鏡組件 內(nèi)置電動孔徑光闌（針對所有物鏡預設，暗場自動完全打開） 觀察模式：明場、暗場、微分干涉相襯（DIC）*1、簡易偏光 *1、熒光 *1、紅外 *1 和MIX觀察（4個定向暗場）*2 *1選配分光鏡組件，*2 需使用MIX觀察配置 |
|
| 透射光照明 |
透射光照明裝置：需使用MX-TILLA或MX-TILLB。 - MX-TILLA：聚光鏡（NA 0.5）和孔徑光闌 - MX-TILLB：聚光鏡（NA 0.6），孔徑光闌以及視場光闌 光源：LG-PS2 (12 V, 100 瓦鹵素燈) 光導: LG-SF 觀察模式: 明場、簡易偏光 |
||
| 聚焦 |
行程：32毫米 每轉行程微調(diào)：100微米 最小分度: 1微米 用于粗調(diào)的上限限位器和扭矩調(diào)節(jié) |
||
| 大載荷重量(包括載物臺和支架) | 8公斤 | 15公斤 | |
| 觀察筒 | 寬視場(FN 22毫米) |
正像三目鏡筒：U-ETR4 正像、可調(diào)傾角三目鏡筒: U-TTR-2 倒像三目鏡筒: U-TR30-2、U-TR30IR (用于紅外觀察) 倒像雙目鏡筒: U-BI30-2 倒像可調(diào)傾角雙目鏡筒：U-TBI30 |
|
| 超寬視場(FN 26.5毫米) |
正像可調(diào)傾角三目鏡筒：MX-SWETTR (光程切換100% (目鏡) : 0 (相機) 或 0 : 100%) 正像可調(diào)傾角三目鏡筒: U-SWETTR (光程切換100% (目鏡) : 0 (相機) 或 20% : 80%) 倒像三目鏡筒: U-SWTR-3 |
||
| 電動物鏡轉換器 |
明場
明場和暗場 |
||
| 載物臺 (X × Y) |
帶內(nèi)置離合驅動的同軸右手柄：MX-SIC8R
帶內(nèi)置離合驅動的同軸右手柄：MX-SIC6R2 |
帶內(nèi)置離合驅動的同軸右手柄：MX-SIC1412R2 行程: 356 x 305毫米 透射光照射區(qū)域：356 x 284毫米 |
|
| 重量 | 約35.6公斤 (顯微鏡架26公斤) | 約44公斤 (顯微鏡架28.5公斤) | |
