近日，國家自然科學(xué)基金委員會(huì)國家重大科研儀器制項(xiàng)目（部門推薦）——“超高時(shí)-空分辨的離子化學(xué)研究系統(tǒng)”和“半導(dǎo)體器件氧化層電缺陷演化原位分析系統(tǒng)”現(xiàn)場(chǎng)考察會(huì)分別在北京大學(xué)舉行。北京大學(xué)校長郝平出席考察會(huì)。國家自然科學(xué)基金委員會(huì)（以下簡稱基金委）領(lǐng)導(dǎo)及專家組聽取項(xiàng)目負(fù)責(zé)人匯報(bào)，與項(xiàng)目組骨干成員、依托單位及合作單位管理部門人員進(jìn)行分組訪談，并對(duì)相關(guān)實(shí)驗(yàn)室進(jìn)行了實(shí)地調(diào)研。經(jīng)過基金委嚴(yán)格的評(píng)審程序，今年北大兩項(xiàng)國家重大科研儀器研制項(xiàng)目（部門推薦）均通過了專家評(píng)審和現(xiàn)場(chǎng)考察。

專家組考察“超高時(shí)-空分辨的離子化學(xué)研究系統(tǒng)”項(xiàng)目

8月23日，“超高時(shí)-空分辨的離子化學(xué)研究系統(tǒng)”項(xiàng)目負(fù)責(zé)人吳凱教授在考察會(huì)上就儀器的研制基礎(chǔ)、建設(shè)方案與進(jìn)度安排、條件保障以及風(fēng)險(xiǎn)評(píng)估等進(jìn)行了匯報(bào)。離子化學(xué)在化學(xué)、物理、材料和能源等方面有著廣泛的應(yīng)用，包括乏燃料的安全處置、核素分離、稀土分離與純化、離子電池及其資源回收等，涉及國家重大戰(zhàn)略需求。該項(xiàng)目將解決在單離子水平上研究離子的溶劑化，溶劑化離子的微觀結(jié)構(gòu)、遷移動(dòng)力學(xué)和電子性質(zhì)等關(guān)鍵科學(xué)問題。

考察“超高時(shí)-空分辨的離子化學(xué)研究系統(tǒng)”項(xiàng)目合影

基金委領(lǐng)導(dǎo)及考察組專家認(rèn)真聽取了項(xiàng)目匯報(bào)并與項(xiàng)目組成員和依托單位相關(guān)管理部門人員展開了熱烈的討論，并且進(jìn)行了現(xiàn)場(chǎng)考察。專家組一致認(rèn)為，該系統(tǒng)的研制將極大地提升我國在離子化學(xué)領(lǐng)域的科學(xué)研究水平，開拓離子化學(xué)新方向，對(duì)我國化學(xué)基礎(chǔ)科學(xué)研究和相關(guān)關(guān)鍵技術(shù)發(fā)展具有重大意義，將是國際上獨(dú)特的離子化學(xué)研究先進(jìn)技術(shù)平臺(tái)，建議立項(xiàng)啟動(dòng)。

專家組在北京大學(xué)微納電子學(xué)系實(shí)地考察

8月29日，“半導(dǎo)體器件氧化層電缺陷演化原位分析系統(tǒng)”項(xiàng)目負(fù)責(zé)人黃如院士在考察會(huì)上就儀器的研制原理、研制方案、研制基礎(chǔ)、進(jìn)度安排、保障條件以及風(fēng)險(xiǎn)應(yīng)對(duì)等進(jìn)行了匯報(bào)。氧化層電缺陷是影響半導(dǎo)體器件性能和可靠性退化的共性科學(xué)問題，是先進(jìn)芯片制造技術(shù)研發(fā)的瓶頸。該項(xiàng)目基于項(xiàng)目組提出的新原理，擬研制世界首個(gè)具備缺陷位置、類型、演化等分析的新型半導(dǎo)體器件氧化層缺陷測(cè)試分析系統(tǒng)，具備器件無損測(cè)量、實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)和單缺陷分析等特色。

基金委領(lǐng)導(dǎo)及考察組專家認(rèn)真聽取了項(xiàng)目匯報(bào)，并就項(xiàng)目的科學(xué)問題、研制方案和依托單位的保障條件等進(jìn)行了充分交流溝通。經(jīng)過現(xiàn)場(chǎng)考察后，專家組一致認(rèn)為，該系統(tǒng)的研制將開拓微納電子學(xué)的前沿基礎(chǔ)，并有望推動(dòng)我國先進(jìn)集成電路技術(shù)與芯片制造產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，建議立項(xiàng)啟動(dòng)。

考察“半導(dǎo)體器件氧化層電缺陷演化原位分析系統(tǒng)”項(xiàng)目合影