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P73.Z200系列Z向200微米行程壓電物鏡定位器詳解

P73.Z200系列Z向200微米行程壓電物鏡定位器!

P73系列壓電物鏡定位器為大行程壓電物鏡定位器,Z軸直線運(yùn)動(dòng)范圍可選200μm、500μm及1mm。P73.Z200是P73系列中200微米行程的版本,它采用柔性鉸鏈設(shè)計(jì)機(jī)構(gòu),無摩擦、運(yùn)動(dòng)直線性好,且閉環(huán)版本定位精度高。分離式螺紋適配器設(shè)計(jì),可適配多種型號(hào)的顯微鏡,廣泛應(yīng)用于大范圍顯微成像、雙光子顯微鏡等領(lǐng)域。

P73.Z200系列Z向200微米行程壓電物鏡定位器!

特點(diǎn)

行程200μm

承載能力0.2kg

毫秒級(jí)響應(yīng)時(shí)間

閉環(huán)重復(fù)定位精度高

聚焦穩(wěn)定性好

典型應(yīng)用

三維成像

干涉/計(jì)量

生物科技

表面結(jié)構(gòu)分析

共焦顯微

半導(dǎo)體測(cè)試

開/閉環(huán)控制電壓與位移曲線

P73.Z200系列Z向200微米行程壓電物鏡定位器!


注:施加至壓電物鏡定位器的電壓約為控制輸入電壓的12倍。

螺紋適配器便于安裝

P73.Z200系列壓電物鏡定位器與物鏡之間通過適配器連接,將物鏡快速鎖定在預(yù)期位置。多種螺紋牙可選,如M27×0.75、M26×0.75、M26×1/36"、M25×0.75、W0.8×1/36" 等,也可定制,便于與顯微鏡集成安裝??善ヅ洳趟尽⒛峥?、奧林巴斯、徠卡等多種標(biāo)準(zhǔn)鏡頭。它也可以通過適配器與手動(dòng)調(diào)節(jié)臺(tái)相結(jié)合使用。

技術(shù)參數(shù)

型號(hào):P73.Z200S

運(yùn)動(dòng)自由度:Z

標(biāo)稱行程范圍:160μm@120V
行程范圍:200μm@150V

傳感器類型:SGS

閉/開環(huán)分辨率:11/5nm

閉環(huán)線性度:0.1%F.S.

閉環(huán)重復(fù)定位精度:0.05%F.S.

推/拉力:80/10N

運(yùn)動(dòng)方向剛度:0.25N/μm

空載諧振頻率:210 Hz

閉/開環(huán)空載階躍時(shí)間:20/10ms

閉環(huán)空載工作頻率:40Hz@10%行程

閉環(huán)空載工作頻率:10Hz@100%行程

承載能力:0.2 kg

靜電容量:7.2μF

材質(zhì):鋼、鋁

重量:360g

注:以上參數(shù)是采用E00/E01系列壓電控制器測(cè)得。最大驅(qū)動(dòng)電壓可在-20V~150V;對(duì)于高可靠的長(zhǎng)期使用,建議驅(qū)動(dòng)電壓在0~120V。

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P73.Z200系列Z向200微米行程壓

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