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光刻曝光系統(tǒng)
光刻曝光系統(tǒng)
 更新時間:2008-8-17 20:12:05  點擊數:4
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TWINSCAN C光刻系統(tǒng)是本公司TWINSCAN系統(tǒng)的增強型系統(tǒng)。根據產品模式,能提高約15%的產量。實際生產條件下(109次曝光/晶片),由于生產率的提高,300mm晶片的產量可以提高到110片/小時以上。TWINSCAN系統(tǒng)提高了平臺移動速度,因此可以在保持成像、對準精度和水平移動精確度的同時提高生產效率。

  ASML Holding NV (ASML) www.asml.com

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