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FIB系統(tǒng)
FIB系統(tǒng)
 更新時間:2008-8-17 20:14:35  點擊數(shù):4
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  VectraVision聚焦離子束(FIB)系統(tǒng)可用于90nm工藝的電路編輯。該設備使制造商能快速修改電路功能并驗證新的電路設計。它也可以對倒扣裝芯片封裝元件的背面進行編輯修改,能夠輕松找到感興趣的特征部位,這些部位有可能深埋在正面金屬以下九層的地方。超高速度硅蝕刻系統(tǒng)從背面局部、快速地找到特征電路的時候,具有紅外功能的光學顯微鏡也可以穿透幾百微米厚的硅層進行觀察。光束感應電流終點探測功能使FIB接近特征電路區(qū)域時,能得到安全的終點判斷。
FEI Co.    www.feic.com

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