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<摘要>

　　羅克韋爾自動(dòng)化的控制系統(tǒng)使得半導(dǎo)體的制作發(fā)生了革命性的改變——使得晶片加工吞吐量增加了25%，使得晶片生長(zhǎng)時(shí)間從一年多縮短到六個(gè)星期，縮減了85%，使得整個(gè)系統(tǒng)更加靈活、更加可靠。






背景資料

　　在半導(dǎo)體行業(yè)，自動(dòng)化系統(tǒng)被用于硅晶片到芯片的加工處理。在這個(gè)過(guò)程中，為了蝕刻硅晶片表面，會(huì)用到快速熱處理、快速熱退火和快速熱化學(xué)蒸汽蒸鍍（RTCVD）。

　　被稱為晶簇工具的整個(gè)系統(tǒng)，包括多個(gè)過(guò)程，構(gòu)成了擁有三個(gè)過(guò)程模塊和一個(gè)冷卻腔的自動(dòng)化港。過(guò)程模塊包括了先進(jìn)的半導(dǎo)體晶片加工所需要的各種自動(dòng)化設(shè)備。

　　習(xí)慣上，半導(dǎo)體行業(yè)的OEM利用他們自己所擁有的硬件和軟件構(gòu)件系統(tǒng)，利用C++或其他代碼程序進(jìn)行控制。晶簇工具的開(kāi)發(fā)商發(fā)現(xiàn)，采用復(fù)雜的編程語(yǔ)言工作增加了開(kāi)發(fā)時(shí)間和培訓(xùn)需要，而計(jì)算機(jī)也常常崩潰且難以調(diào)整。此外，半導(dǎo)體行業(yè)需要一種標(biāo)準(zhǔn)借口，在系統(tǒng)開(kāi)發(fā)中使用多個(gè)RS232通信口。這些復(fù)雜的需求使得快速而方便地開(kāi)發(fā)系統(tǒng)面臨著一定的挑戰(zhàn)。

問(wèn)題的提出

　　半導(dǎo)體晶簇工具的一個(gè)特殊開(kāi)發(fā)商——也是IBM、Intel、摩托羅拉（Motorola）、東芝（Toshiba）等公司的供應(yīng)商——覺(jué)得，控制晶片加工系統(tǒng)的傳統(tǒng)方法有著很大的改進(jìn)空間，從而引發(fā)了超越傳統(tǒng)的半導(dǎo)體技術(shù)的新技術(shù)的研究。

　　公司需要這樣一個(gè)解決方案，它能夠?qū)ιa(chǎn)過(guò)程進(jìn)行管理控制，能夠?qū)γ總€(gè)不同模塊的特殊功能進(jìn)行控制，并且，每塊模塊都可以進(jìn)行三軸運(yùn)動(dòng)控制。除此之外，它需要一個(gè)組態(tài)方便、可靠的接口，以便操作人員輸入和反饋數(shù)據(jù)。

　　為了不浪費(fèi)高成本的凈化空間，整個(gè)系統(tǒng)必須緊湊、易于安裝和組態(tài)。從最初的加工系統(tǒng)的開(kāi)發(fā)，到整個(gè)系統(tǒng)的構(gòu)件，絕大部分晶片加工公司需要12至14個(gè)月——這部分時(shí)間必須縮減。

解決方案

　　根據(jù)一個(gè)管理人員以前的經(jīng)驗(yàn)，公司找到了羅克韋爾自動(dòng)化，探討了羅克韋爾自動(dòng)化的自動(dòng)化和控制技術(shù)用于半導(dǎo)體行業(yè)的可行性。羅克韋爾自動(dòng)化提供了最新的產(chǎn)品，公司也意識(shí)到，Allen-Bradley的可編程序控制器能夠提供開(kāi)發(fā)和運(yùn)行控制系統(tǒng)所需要的速度、靈活性、可靠性，且使用方便。