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1  引言
         南陽中光學(xué)機(jī)電裝備有限公司真空技術(shù)公司產(chǎn)品涉及光學(xué)鍍膜、激光薄膜、金屬薄膜、樹脂鍍膜等多個(gè)領(lǐng)域。自主研發(fā)的omc-200b光學(xué)膜厚控制儀、ebg系列電子槍等鍍膜設(shè)備的核心部件，已經(jīng)趕超世界先進(jìn)水平。自動(dòng)鍍膜屬于半導(dǎo)體行業(yè)的實(shí)際情況，當(dāng)時(shí)客戶對(duì)控制系統(tǒng)提出了以下幾點(diǎn)要求：系統(tǒng)要穩(wěn)定可靠，可長時(shí)間無人值守自動(dòng)運(yùn)行?？梢员４娑嘟M配方，并能按預(yù)先設(shè)定的配方自動(dòng)鍍膜。工藝參數(shù)實(shí)時(shí)可調(diào)。數(shù)據(jù)參數(shù)可以保留。要為以后的組網(wǎng)余留通訊接口。

2  鍍膜自動(dòng)化系統(tǒng)
2.1 系統(tǒng)分析
         根據(jù)客戶提出的控制要求，系統(tǒng)要能夠手動(dòng)自動(dòng)靈活控制。因此我們選用了穩(wěn)定可靠的hitech觸摸屏人機(jī)界面，該人機(jī)界面不但能保存大量的工作數(shù)據(jù)，而且可用cf卡的方式供用戶保存工藝及膜系數(shù)據(jù)，也可以將鍍膜數(shù)據(jù)在電腦上修改后經(jīng)由cf卡傳回觸摸屏，這樣管理數(shù)據(jù)非常方便。另外，由于hitech人機(jī)提供了強(qiáng)大的宏指令，而且宏指令的編輯非常簡單易學(xué)，所以通過宏指令使人機(jī)來和晶體膜厚監(jiān)控儀通訊很容易。觸摸屏接收到監(jiān)控儀上的數(shù)據(jù)后，通過宏指令進(jìn)行算術(shù)運(yùn)算，然后進(jìn)行邏輯判斷，再發(fā)信號(hào)給plc，來控制設(shè)備的自動(dòng)運(yùn)行。經(jīng)過上述分析，提出控制方案如圖1所示。

圖1  控制系統(tǒng)框圖

2.2 電氣結(jié)構(gòu)和配置設(shè)計(jì)
         (1) 數(shù)值量輸入輸出，實(shí)現(xiàn)現(xiàn)場信號(hào)的采集和按工藝要求做邏輯控制輸出。
         (2) 利用屏的雙串口雙驅(qū)功能和plc，晶體控制儀器同時(shí)通訊。用通訊方式實(shí)現(xiàn)儀器的命令控制，省去很多硬接線麻煩，簡化了控制系統(tǒng)結(jié)構(gòu)。各工藝參數(shù)設(shè)定，實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)顯示，報(bào)警提示等都可以在人機(jī)上直接操作，真正體現(xiàn)了人際交互功能。
2.3 觸摸屏提升鍍膜機(jī)能力
         鍍膜機(jī)自動(dòng)化水平的高低也是衡量其現(xiàn)代化水平的重要標(biāo)志。提高自動(dòng)化水平，不僅可以減輕操作人員的勞動(dòng)強(qiáng)度和看管負(fù)擔(dān)，還可減少鍍膜機(jī)的人為故障、提高機(jī)器的運(yùn)轉(zhuǎn)率及產(chǎn)品的質(zhì)量。采用工藝參數(shù)的在線調(diào)整：如在鍍膜機(jī)正常運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)，若基片的某項(xiàng)質(zhì)量指標(biāo)出現(xiàn)問題，可直接通過hmi進(jìn)行工藝參數(shù)調(diào)整。一旦故障產(chǎn)生，顯示機(jī)器出故障的位置，以便現(xiàn)場人員維護(hù)，十分人性化。
2.4 工藝參數(shù)畫面及宏指令設(shè)計(jì)案例

圖2  工藝參數(shù)畫面宏指令

圖3  基于宏指令通訊的工藝參數(shù)畫面

         所用部分宏指令截圖參見圖2。此系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)客戶要求，并保存當(dāng)前的實(shí)際膜系要求信息到晶體膜厚控制器中的工藝及材料參數(shù)中。下一步，用戶要求也可以根據(jù)自己膜系軟件計(jì)算的結(jié)果，通過cf卡直接讀取到觸摸屏上，也可以把工藝參數(shù)和材料參數(shù)保存到cf卡中，方便用戶把數(shù)據(jù)保存，供人們在計(jì)算機(jī)上查詢。

3  結(jié)束語
         真空鍍膜系統(tǒng)中hitech觸摸屏使得大量的數(shù)據(jù)存儲(chǔ)功能，供客戶存儲(chǔ)3個(gè)月的數(shù)據(jù)。方便的宏指令功能，可通過串口模式把存儲(chǔ)的數(shù)據(jù)傳送到控制儀器上(plc和晶體末后監(jiān)控儀)。6萬4千色的真彩顯示，可方便的組態(tài)豐富的畫面。余留有串口和以太網(wǎng)接口，為以后的系統(tǒng)擴(kuò)充留下空間。cf卡的數(shù)據(jù)存儲(chǔ)提供了極大的便利。系統(tǒng)在北方夜視昆明有限公司已經(jīng)穩(wěn)定的運(yùn)行了半年的時(shí)間，得到客戶高度評(píng)價(jià)。