1.感應(yīng)同步器：
感應(yīng)同步器根據(jù)用途不同和結(jié)構(gòu)特點分成直線式和旋轉(zhuǎn)式(圓盤式)兩大類，直線式由定尺和滑尺組成，旋轉(zhuǎn)式由定子和轉(zhuǎn)子組成，前者用以測量工作機構(gòu)的直線位移，后者用以測量旋轉(zhuǎn)角度。
圖所示為直線感應(yīng)同步器結(jié)構(gòu)。定尺和滑尺由一系列開口線圈串聯(lián)而成，其中一尺產(chǎn)生分布的交變磁場，另一尺則作為讀出裝置。由圖可見，當(dāng)兩個線圈的軸線重合時，讀出的信號盡大；而當(dāng)兩個線圈的軸線錯開時τ／2，輸出為零。同理，當(dāng)滑尺繼續(xù)移動τ ／2時，輸出信號最大，但相位相反。
2.絕對值脈沖編碼器：
絕對值編碼器通過讀取編碼盤上的圖案來表示軸的位置。它由一組二元信號(“0”和“1”)按一定規(guī)律組成代碼，每一個代碼對應(yīng)于編碼器的一個確定位置。
編碼器由編碼模具和讀碼裝置兩部分組成。編碼模具由若干個二進制碼元按一定編碼規(guī)律組成。 圖表示一個二進制編碼的碼盤，其中4個碼道分別相應(yīng)于二進制的20、21、22和23各位，陰影部分表示為“1”，而空白部分表示為零，共16個代碼。讀碼裝置是多種多樣的，依編碼模具的二元信號形成原理而定。例如，以導(dǎo)電一不導(dǎo)電作為“1”和“0”，讀碼裝置就需要采用電刷，而當(dāng)以透光一不透光表示“1”和“0”時，讀碼裝置相應(yīng)地采用光電方法。
3.光刪：
計量光柵是用于的精密檢測元件，是閉環(huán)系統(tǒng)中另一種用得較多的測量裝置，用作位移或轉(zhuǎn)角的測量，測量精度可達幾微米。
在玻璃的表面上制成透明與不透明間隔相等的線紋，稱透射光柵；在金屬的鏡面上制成全反射與漫反射間隔相等的線紋，稱反射光柵，也可以把線紋做成具有一定衍射角度的定向光柵。
計量光柵分為長光柵(測量直線位移)和圓光柵(測量角位移)，而每一種又根據(jù)其用途和材質(zhì)的不同分為多種。
柵位置檢測裝置由光源、長光柵(標(biāo)尺光柵)、短光柵(指示光柵)和光電元件等組成，如圖所示。根據(jù)光柵的工作原理分透射直線式和莫爾條紋式光柵兩類。
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