產(chǎn)品詳情
空氣軸承
型號(hào)
LBC
采用非接觸空氣軸承機(jī)構(gòu)的滑動(dòng)零阻力的空氣靜壓式柔性執(zhí)行部。通過(guò)與電空減壓閥(EV)的組合,實(shí)現(xiàn)細(xì)致精密的負(fù)荷控制。
行業(yè):半導(dǎo)體制造工序(后工序)、安裝
【滑動(dòng)零阻力】
采用完全非接觸設(shè)計(jì),滑動(dòng)零阻力,因此可實(shí)現(xiàn)高響應(yīng)、與供給壓力成線性比例的推力控制。
【潔凈】
動(dòng)作時(shí)完全非接觸,因此無(wú)發(fā)塵。


