產(chǎn)品詳情
設(shè)備主要用于微米晶和納米晶金剛石薄膜的研發(fā)和生產(chǎn)?？捎糜诹W(xué)級、熱學(xué)級、光學(xué)級、聲學(xué)級的金剛石產(chǎn)品的研發(fā)生產(chǎn)。
可以制造大尺寸金剛石多晶晶圓片，用于大功率器件、高頻器件及大功率激光器的散熱熱沉。
可用于生產(chǎn)制造防腐耐磨硬質(zhì)涂層；環(huán)保領(lǐng)域污水處理用的金剛石產(chǎn)品。
可用于平面工件的金剛石薄膜制備，也可用于刀具表面或其它不規(guī)則表面的金剛石硬質(zhì)涂層制備。
可用于太陽能薄膜電池的研發(fā)與生產(chǎn)。
工件尺寸
圓形平面工件的尺寸：最大φ550mm。
矩形工件尺寸的寬度550mm。
矩形工件尺寸的長度可根據(jù)鍍膜室的長度確定（如：工件長度1200mm）。
配置水冷樣品臺(tái)。可單面鍍膜也可雙面鍍膜。
金剛石薄膜生產(chǎn)線
熱絲電源功率
可達(dá)300KW，1KW～300KW可調(diào)（可根據(jù)用戶工藝需求配置功率范圍）
設(shè)備安全性
- 電力系統(tǒng)的檢測與保護(hù)
- 設(shè)置真空檢測與報(bào)警保護(hù)功能
- 冷卻循環(huán)水系統(tǒng)壓力檢測和流量檢測與報(bào)警保護(hù)
- 設(shè)置水壓檢測與報(bào)警保護(hù)裝置
- 設(shè)置水流檢測報(bào)警裝置
熱絲CVD金剛石設(shè)備
設(shè)備構(gòu)成
真空室構(gòu)成
雙層水冷結(jié)構(gòu)，立式圓形、立式D形、立式矩形、臥式矩形，前后開門。
真空尺寸：根據(jù)工件尺寸和數(shù)量確定。
熱絲
熱絲材料：鉭絲、或鎢絲
熱絲溫度：1800℃～2500℃ 可調(diào)
熱絲不塌腰（解決了熱絲長時(shí)間加熱塌腰問題）。
樣品臺(tái)
可水冷、可加偏壓、可旋轉(zhuǎn)、可升降，由調(diào)速電機(jī)控制，可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)升降，（熱絲與襯底間距在5～100mm范圍內(nèi)可調(diào)），要求升降平穩(wěn),上下波動(dòng)不大于0.1mm。
工作氣路（CVD）
工作氣路根據(jù)用戶工藝要求配置：
下面氣體配置是某一用戶的配置案例。
H2（5000sccm，濃度100%）
CH4（200sccm，濃度100%）
B2H6（50sccm，H2濃度99%）
Ar（1000sccm，濃度100%）
真空獲得及測量系統(tǒng)
控制系統(tǒng)及軟件
關(guān)于我們
鵬城微納技術(shù)（沈陽）有限公司，由哈爾濱工業(yè)大學(xué)（深圳）與有多年實(shí)踐經(jīng)驗(yàn)的工程師團(tuán)隊(duì)共同發(fā)起創(chuàng)建。公司立足于技術(shù)前沿、市場前沿和產(chǎn)業(yè)前沿的交叉點(diǎn)，尋求創(chuàng)新yin*ling與可持續(xù)發(fā)展，解決產(chǎn)業(yè)的痛點(diǎn)和國產(chǎn)化難題，爭取產(chǎn)業(yè)鏈的自主可控。
鵬城微納技術(shù)（沈陽）有限公司是鵬城半導(dǎo)體技術(shù)（深圳）有限公司全資子公司，是半導(dǎo)體和泛半導(dǎo)體工藝和裝備的設(shè)計(jì)中心和生產(chǎn)制造基地。
公司核心業(yè)務(wù)是微納技術(shù)與gao*duan精密制造，具體應(yīng)用領(lǐng)域包括半導(dǎo)體和泛半導(dǎo)體材料、工藝、裝備的研發(fā)設(shè)計(jì)、生產(chǎn)制造、工藝技術(shù)服務(wù)及裝備的升級改造，可為用戶提供工藝研發(fā)和打樣，可為生產(chǎn)企業(yè)提供生產(chǎn)型設(shè)備，可為科學(xué)研究提供科研設(shè)備。
公司人才團(tuán)隊(duì)知識(shí)結(jié)構(gòu)完整，有工程師哈工大教授和博士，為核心的高水平材料研究和工藝研究團(tuán)隊(duì)，還有來自工業(yè)界的高級裝備設(shè)計(jì)師團(tuán)隊(duì)，他們具有30多年的半導(dǎo)體材料研究、外延技術(shù)研究和半導(dǎo)體薄膜制備成套裝備設(shè)計(jì)、生產(chǎn)制造的經(jīng)驗(yàn)。
公司依托于哈爾濱工業(yè)大學(xué)（深圳），具備xian*jin的半導(dǎo)體研發(fā)設(shè)備平臺(tái)和檢測設(shè)備平臺(tái)，可以在高起點(diǎn)開展科研工作。公司總部位于深圳市，具備半導(dǎo)體和泛半導(dǎo)體裝備的研發(fā)、生產(chǎn)、調(diào)試以及器件的中試、生產(chǎn)、銷售的能力。
公司團(tuán)隊(duì)技術(shù)儲(chǔ)備及創(chuàng)新能力
1998~2002
-設(shè)計(jì)了中試型的全自動(dòng)化監(jiān)控的MOCVD，用于外延硅基GaN
-設(shè)計(jì)制造了聚氨酯薄膜的卷繞式鍍膜機(jī)
2005
-設(shè)計(jì)制造了中國di*yi臺(tái)wan*quan自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的MBE(分子束外延設(shè)備)，用于外延光電半導(dǎo)體材料
2007
-設(shè)計(jì)超高溫CVD 和MBE，用于4H晶型SiC外延生長
-設(shè)計(jì)制造了光學(xué)級金剛石生長設(shè)備（采用熱激發(fā)技術(shù)和CVD技術(shù)）
2015
-設(shè)計(jì)制造了金剛石涂層制備設(shè)備，制備了金剛石電極、微米晶和納米晶金剛石薄膜、導(dǎo)電金剛石薄膜
2017
-優(yōu)化Rheed設(shè)計(jì)，開始生產(chǎn)型MBE設(shè)計(jì)
-開始研發(fā)PSD方法外延GaN的工藝和裝備
2019
-設(shè)計(jì)制造了大型熱絲CVD金剛石薄膜的生產(chǎn)設(shè)備
2021
-鵬城半導(dǎo)體技術(shù)（深圳）有限公司成立
2022
-子公司鵬城微納成立；
-熱絲CVD設(shè)備、高真空磁控濺射儀、電子束蒸鍍機(jī)、分子束外延與磁控濺射聯(lián)用設(shè)備多套出貨
-獲得ISO9001質(zhì)量管理體系證書
2023
-PSD方法外延GaN裝備與工藝的技術(shù)攻關(guān)；
-科技型中小企業(yè)-入庫編號(hào)202344030500018573；
-創(chuàng)新型中小企業(yè)；
-獲50+項(xiàng)知識(shí)產(chǎn)權(quán)zhuan*li；
-企業(yè)信用評價(jià)3A*信用企業(yè)；/ISO三體系認(rèn)證；
-子公司晶源半導(dǎo)體成立
2024~2026
-與jun*gong和上市頭部企業(yè)合作取得突破（X 光感受板及光電器件的薄膜生長等）
-鵬城微納子公司擴(kuò)產(chǎn)
-TGV/TSV/TMV
-微光探測、醫(yī)療影像、復(fù)合硬質(zhì)涂層
-gao*xin*ji*shu企業(yè)
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