產(chǎn)品詳情
PECVD 等離子體增強化學氣相沉積設備主要用于在潔凈真空環(huán)境下進行氮化硅和氧化硅的薄膜生長；采用單頻或雙頻等離子增強型化學氣相沉積技術，是沉積高質(zhì)量的氮化硅、氧化硅等薄膜的理想工藝設備。
雙頻技術，采用13.56MHZ射頻電源和400KHZ中頻電源。
射頻電源用于控制等離子體的通量；中頻電源用于控制等離子體的能量。
設備用途和功能特點
1、該設備是高真空單頻或雙頻等離子增強化學氣相沉積PECVD薄膜設備，主要用于制備氮化硅和氧化硅薄膜。
2、設備保護功能強，具備真空系統(tǒng)檢測與保護、水壓檢測與保護、相序檢測與保護、溫度檢測與保護。
3、配置尾氣處理裝置。
設備安全性設計
1、電力系統(tǒng)的檢測與保護
2、設置真空檢測與報警保護功能
3、溫度檢測與報警保護
4、冷卻循環(huán)水系統(tǒng)的壓力檢測和流量檢測與報警保護
5、工藝氣路含防交叉污染裝置
設備技術指標
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類型 |
參數(shù) |
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樣片尺寸 |
≤φ8英寸（或多片2英寸） |
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樣片加熱臺加熱溫度 |
室溫～ 600℃±0.1℃ |
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真空室極限真空 |
≤3×10-5Pa |
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工作背景真空 |
≤4×10-4Pa |
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設備總體漏放率 |
停泵12小時后，真空度≤10Pa |
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樣品、電極間距 |
5mm ～ 50mm在線可調(diào) |
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工作控制壓強 |
10Pa ～ 1500Pa |
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氣體控制回路 |
根據(jù)工藝要求配置 |
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單頻電源的頻率 |
13.56MHz |
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雙頻電源的頻率 |
13.56MHz/400KHz |
工作條件
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類型 |
參數(shù) |
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供電 |
三相五線制 AC 380V |
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工作環(huán)境溫度 |
10℃～ 40℃ |
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氣體閥門供氣壓力 |
0.5MPa ～ 0.7MPa |
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質(zhì)量流量控制器輸入壓力 |
0.05MPa ～ 0.2MPa |
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冷卻水循環(huán)量 |
0.6m3/h 水溫18℃～25℃ |
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設備總功率 |
7kW |
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設備占地面積 |
2.0m ～ 2.0m |
單室與多室PECVD設備
關于我們
鵬城微納技術（沈陽）有限公司，由哈爾濱工業(yè)大學（深圳）與有多年實踐經(jīng)驗的工程師團隊共同發(fā)起創(chuàng)建。公司立足于技術前沿、市場前沿和產(chǎn)業(yè)前沿的交叉點，尋求創(chuàng)新yin*ling與可持續(xù)發(fā)展，解決產(chǎn)業(yè)的痛點和國產(chǎn)化難題，爭取產(chǎn)業(yè)鏈的自主可控。
鵬城微納技術（沈陽）有限公司是鵬城半導體技術（深圳）有限公司全資子公司，是半導體和泛半導體工藝和裝備的設計中心和生產(chǎn)制造基地。
公司核心業(yè)務是微納技術與gao*duan精密制造，具體應用領域包括半導體和泛半導體材料、工藝、裝備的研發(fā)設計、生產(chǎn)制造、工藝技術服務及裝備的升級改造，可為用戶提供工藝研發(fā)和打樣，可為生產(chǎn)企業(yè)提供生產(chǎn)型設備，可為科學研究提供科研設備。
公司人才團隊知識結(jié)構(gòu)完整，有工程師哈工大教授和博士，為核心的高水平材料研究和工藝研究團隊，還有來自工業(yè)界的高級裝備設計師團隊，他們具有30多年的半導體材料研究、外延技術研究和半導體薄膜制備成套裝備設計、生產(chǎn)制造的經(jīng)驗。
公司依托于哈爾濱工業(yè)大學（深圳），具備xian*jin的半導體研發(fā)設備平臺和檢測設備平臺，可以在高起點開展科研工作。公司總部位于深圳市，具備半導體和泛半導體裝備的研發(fā)、生產(chǎn)、調(diào)試以及器件的中試、生產(chǎn)、銷售的能力。
公司團隊技術儲備及創(chuàng)新能力
1998~2002
-設計了中試型的全自動化監(jiān)控的MOCVD，用于外延硅基GaN
-設計制造了聚氨酯薄膜的卷繞式鍍膜機
2005
-設計制造了中國di*yi臺wan*quan自主知識產(chǎn)權(quán)的MBE(分子束外延設備)，用于外延光電半導體材料
2007
-設計超高溫CVD 和MBE，用于4H晶型SiC外延生長
-設計制造了光學級金剛石生長設備（采用熱激發(fā)技術和CVD技術）
2015
-設計制造了金剛石涂層制備設備，制備了金剛石電極、微米晶和納米晶金剛石薄膜、導電金剛石薄膜
2017
-優(yōu)化Rheed設計，開始生產(chǎn)型MBE設計
-開始研發(fā)PSD方法外延GaN的工藝和裝備
2019
-設計制造了大型熱絲CVD金剛石薄膜的生產(chǎn)設備
2021
-鵬城半導體技術（深圳）有限公司成立
2022
-子公司鵬城微納成立；
-熱絲CVD設備、高真空磁控濺射儀、電子束蒸鍍機、分子束外延與磁控濺射聯(lián)用設備多套出貨
-獲得ISO9001質(zhì)量管理體系證書
2023
-PSD方法外延GaN裝備與工藝的技術攻關；
-科技型中小企業(yè)-入庫編號202344030500018573；
-創(chuàng)新型中小企業(yè)；
-獲50+項知識產(chǎn)權(quán)zhuan*li；
-企業(yè)信用評價3A*信用企業(yè)；/ISO三體系認證；
-子公司晶源半導體成立
2024~2026
-與jun*gong和上市頭部企業(yè)合作取得突破（X 光感受板及光電器件的薄膜生長等）
-鵬城微納子公司擴產(chǎn)
-TGV/TSV/TMV
-微光探測、醫(yī)療影像、復合硬質(zhì)涂層
-gao*xin*ji*shu企業(yè)
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