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真空高溫CVD爐

數(shù)量(臺) 價格
999 999999.00元/臺
  • 最小起訂: 1臺
  • 發(fā)貨地址: 遼寧 沈陽市
  • 發(fā)布日期:2026-01-12
  • 訪問量:171
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鵬城微納技術(shù)(沈陽)有限公司

實名認證 企業(yè)認證
  • 企業(yè)地址:遼寧省沈陽市大東區(qū)望花南街15號
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詳細參數(shù)
品牌鵬城微納型號非標定制
產(chǎn)品用途在工件表面沉積各種薄膜產(chǎn)品別名化學氣相沉積設(shè)備
適用行業(yè)軍工業(yè),企業(yè),科研院所等產(chǎn)地沈陽

產(chǎn)品詳情

真空高溫 CVD 爐采用高溫化學氣相沉積的方法,在工件表面沉積各種薄膜,在半導體工業(yè)中應用非常廣泛,包括沉積大面積的絕緣材料,以及大多數(shù)金屬材料和金屬合金材料,例如:碳化鉭涂層、碳化硅涂層材料。
例如:可在石墨工件表面沉積碳化鉭涂層和碳化硅涂層。


真空高溫 CVD 爐適用于生產(chǎn)企業(yè)及各大高校材料實驗室、科研院所、環(huán)保科學等領(lǐng)域。
設(shè)備構(gòu)成
爐殼采用不銹鋼材質(zhì),雙層水冷結(jié)構(gòu),設(shè)有觀察窗和紅外測溫窗、熱電偶測溫裝置。
加熱系統(tǒng)
設(shè)備內(nèi)部安裝加熱器,形成薄膜沉積熱場。
樣品臺系統(tǒng)
樣品臺可同時掛載若干工件。
測溫和加熱電源
1、溫度控制和檢測全部采用熱電偶/鎢錸熱電偶/紅外測溫儀。
2、加熱電源功率根據(jù)實際要求定制電源。
主要技術(shù)指標


類型 參數(shù)
功率 約150KW
加熱器工作溫度 ≤2200℃
真空度 6.67*10-3Pa(冷態(tài)空載)
升壓率 0.08pa/h

關(guān)于我們

鵬城微納技術(shù)(沈陽)有限公司,由哈爾濱工業(yè)大學(深圳)與有多年實踐經(jīng)驗的工程師團隊共同發(fā)起創(chuàng)建。公司立足于技術(shù)前沿、市場前沿和產(chǎn)業(yè)前沿的交叉點,尋求創(chuàng)新yin*ling與可持續(xù)發(fā)展,解決產(chǎn)業(yè)的痛點和國產(chǎn)化難題,爭取產(chǎn)業(yè)鏈的自主可控。

鵬城微納技術(shù)(沈陽)有限公司是鵬城半導體技術(shù)(深圳)有限公司全資子公司,是半導體和泛半導體工藝和裝備的設(shè)計中心和生產(chǎn)制造基地。

公司核心業(yè)務是微納技術(shù)與gao*duan精密制造,具體應用領(lǐng)域包括半導體和泛半導體材料、工藝、裝備的研發(fā)設(shè)計、生產(chǎn)制造、工藝技術(shù)服務及裝備的升級改造,可為用戶提供工藝研發(fā)和打樣,可為生產(chǎn)企業(yè)提供生產(chǎn)型設(shè)備,可為科學研究提供科研設(shè)備。

公司人才團隊知識結(jié)構(gòu)完整,有工程師哈工大教授和博士,為核心的高水平材料研究和工藝研究團隊,還有來自工業(yè)界的高級裝備設(shè)計師團隊,他們具有30多年的半導體材料研究、外延技術(shù)研究和半導體薄膜制備成套裝備設(shè)計、生產(chǎn)制造的經(jīng)驗。

公司依托于哈爾濱工業(yè)大學(深圳),具備xian*jin的半導體研發(fā)設(shè)備平臺和檢測設(shè)備平臺,可以在高起點開展科研工作。公司總部位于深圳市,具備半導體和泛半導體裝備的研發(fā)、生產(chǎn)、調(diào)試以及器件的中試、生產(chǎn)、銷售的能力。

HFCVD 熱絲化學氣相沉積設(shè)備

公司團隊技術(shù)儲備及創(chuàng)新能力

1998~2002

-設(shè)計了中試型的全自動化監(jiān)控的MOCVD,用于外延硅基GaN

-設(shè)計制造了聚氨酯薄膜的卷繞式鍍膜機

2005

-設(shè)計制造了中國di*yi臺wan*quan自主知識產(chǎn)權(quán)的MBE(分子束外延設(shè)備),用于外延光電半導體材料

2007

-設(shè)計超高溫CVD 和MBE,用于4H晶型SiC外延生長

-設(shè)計制造了光學級金剛石生長設(shè)備(采用熱激發(fā)技術(shù)和CVD技術(shù))

2015

-設(shè)計制造了金剛石涂層制備設(shè)備,制備了金剛石電極、微米晶和納米晶金剛石薄膜、導電金剛石薄膜

2017

-優(yōu)化Rheed設(shè)計,開始生產(chǎn)型MBE設(shè)計

-開始研發(fā)PSD方法外延GaN的工藝和裝備

2019

-設(shè)計制造了大型熱絲CVD金剛石薄膜的生產(chǎn)設(shè)備

2021

-鵬城半導體技術(shù)(深圳)有限公司成立

2022

-子公司鵬城微納成立;

-熱絲CVD設(shè)備、高真空磁控濺射儀、電子束蒸鍍機、分子束外延與磁控濺射聯(lián)用設(shè)備多套出貨

-獲得ISO9001質(zhì)量管理體系證書

2023

-PSD方法外延GaN裝備與工藝的技術(shù)攻關(guān);

-科技型中小企業(yè)-入庫編號202344030500018573;

-創(chuàng)新型中小企業(yè);

-獲50+項知識產(chǎn)權(quán)zhuan*li;

-企業(yè)信用評價3A*信用企業(yè);/ISO三體系認證;

-子公司晶源半導體成立

2024~2026

-與jun*gong和和核工業(yè)客戶合作取得突破(核反應堆材料的涂層工藝及裝備、X 光感受板及光電器件的薄膜生長)

-鵬城微納子公司擴產(chǎn)

-TGV/TSV/TMV

-微光探測、醫(yī)療影像、復合硬質(zhì)涂層

-gao*xin*ji*shu企業(yè)

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