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產(chǎn)品詳情

高純氮?dú)馐侵讣兌冗_(dá)到99.999%(5N)及以上的氮?dú)猓爻合聻闊o色、無臭、無毒的惰性氣體,化學(xué)性質(zhì)穩(wěn)定,廣泛用于半導(dǎo)體、精密制造、科研等領(lǐng)域。

?? 純度與標(biāo)準(zhǔn)

依據(jù)現(xiàn)行國標(biāo) GB/T 8979-2025,分級如下:

? 高純氮:≥99.999%(雜質(zhì)總含量≤10×10??),關(guān)鍵雜質(zhì):氧≤3×10??、水≤3×10??、氫≤1×10??、CO≤1×10??、CO?≤0.5×10??、甲烷≤1×10??;

? 超純氮:≥99.9999%(6N),雜質(zhì)達(dá)ppb級,用于半導(dǎo)體等嚴(yán)苛場景。

?? 理化性質(zhì)

分子式N?,相對分子質(zhì)量28.013,相對密度(空氣=1)約0.967,氣體密度1.153 kg/m3(21.1℃,101.3kPa),液態(tài)密度808.5 kg/m3(-195.8℃),沸點(diǎn)-195.6℃,熔點(diǎn)-210℃,臨界溫度-147.05℃、臨界壓力3.4MPa。

?? 制備工藝

? 深冷空分:空氣液化后精餾,利用氮氧沸點(diǎn)差異分離,可制6N級,適合大規(guī)模供應(yīng);

? 變壓吸附(PSA):常溫下碳分子篩優(yōu)先吸附氧等雜質(zhì),純度可達(dá)99.999%,啟動(dòng)快、靈活,中小流量常用;

? 膜分離:基于滲透率差異分離,純度約99%-99.5%,適合簡單場景;

? 精處理:加氫除氧、碳載除氧、分子篩深度

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