近日，上海交通大學(xué)電子信息與電氣工程學(xué)院、北京大學(xué)集成電路學(xué)院聯(lián)合概倫電子正式發(fā)布新一代高精度快速波形發(fā)生與測(cè)量套件fs-pro hp-fwgmk，通過校企深度合作填補(bǔ)了國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體參數(shù)測(cè)試系統(tǒng)在短脈沖測(cè)試（piv）的空缺，為國(guó)內(nèi)產(chǎn)學(xué)研深度合作樹立了新的標(biāo)桿。

該項(xiàng)研究成果由黃如院士領(lǐng)銜的北京大學(xué)、上海交通大學(xué)團(tuán)隊(duì)和概倫電子聯(lián)合研發(fā)。作為短脈沖iv(piv)測(cè)試技術(shù)的先行者，黃如院士帶領(lǐng)團(tuán)隊(duì)探索出一整套短脈沖產(chǎn)生、測(cè)量以及分析技術(shù)。其中，由黃如院士帶領(lǐng)的上海交大電院紀(jì)志罡教授研究小組在短脈沖捕捉電路架構(gòu)和信號(hào)處理算法方面的突破，保障了系統(tǒng)的高精度。概倫電子基于黃如院士聯(lián)合團(tuán)隊(duì)提供的包括測(cè)試方法、電路原型、方案框架、版圖設(shè)計(jì)及piv應(yīng)用在內(nèi)的指導(dǎo)意見繼續(xù)精細(xì)開發(fā)，最終實(shí)現(xiàn)了最小脈寬130ns的高精度測(cè)量。

上海在先進(jìn)器件研究過程中，新材料、新結(jié)構(gòu)與新工藝的應(yīng)用都可能帶來未知的變化。研究者不但要關(guān)注精確的靜態(tài)電流電壓特性，更希望觀察到細(xì)微快速的動(dòng)態(tài)行為。同時(shí)隨著半導(dǎo)體尺寸不斷減小，一些現(xiàn)象需要在極短的時(shí)間內(nèi)才能觀察到，例如先進(jìn)工藝下的mos器件的bti效應(yīng)，新興存儲(chǔ)器件如鐵電器件的瞬時(shí)反轉(zhuǎn)特性等?；诙堂}沖的測(cè)試則為該類研究奠定了堅(jiān)實(shí)的基礎(chǔ)。

作者：

電子信息與電氣工程學(xué)院

供稿單位：

電子信息與電氣工程學(xué)院