據(jù)麥姆斯咨詢報(bào)道，中國(guó)臺(tái)灣純代工廠Visual Photonics Epitaxy Co Ltd（VPEC，全新光電）近日宣布為其VCSEL（垂直腔面發(fā)射激光器）生產(chǎn)引進(jìn)了德國(guó)柏林廠商LayTec的原位測(cè)量產(chǎn)品。
LayTec的EpiTT/VCSEL包括兩個(gè)光纖測(cè)量頭：一個(gè)用于標(biāo)準(zhǔn)EpiTT，另一個(gè)用于光譜反射率傳感（R-VCSEL）。兩個(gè)光纖測(cè)量頭均可通過EpiCurve測(cè)量頭上的轉(zhuǎn)接法蘭進(jìn)行連接EpiCurve/VCSEL系統(tǒng)，該項(xiàng)設(shè)置可同時(shí)集成完整的EpiCurve TT性能和DBR（分布式布拉格反射鏡）阻帶和腔傾角位置的頻譜監(jiān)測(cè)功能。這款四合一計(jì)量工具安裝于Aixtron G3行星式反應(yīng)器頂部。EpiTT/VCSEL和EpiCurve TT/VCSEL由新型軟件模塊供電，可實(shí)現(xiàn)單阱和多阱運(yùn)行。
為了支持全球3D傳感和其它快速增長(zhǎng)的應(yīng)用對(duì)VCSEL芯片的需求，LayTec將VCSEL Add-On用于其EpiTT和EpiCurve TT系統(tǒng)，提供了額外的原位光譜反射率傳感，并可在GaAs基和InP基近紅外/紅外（NIR/IR）VCSEL工藝波長(zhǎng)范圍內(nèi)進(jìn)行定制，實(shí)現(xiàn)這類高度復(fù)雜的多層結(jié)構(gòu)器件的高良率制造。
VCSEL Add-On也可作為現(xiàn)有EpiTT或EpiCurve TT系統(tǒng)的升級(jí)版本。憑借配備先進(jìn)的實(shí)時(shí)分析算法，除了EpiTT的晶圓溫度和生長(zhǎng)速率監(jiān)測(cè)，以及EpiCurve TT的晶圓彎曲測(cè)量外，它還能夠在VCSEL外延過程中監(jiān)測(cè)DBR（分布式布拉格反射鏡）阻帶和腔傾角位置。
“VPEC為VCSEL晶圓制造選擇了LayTec市場(chǎng)領(lǐng)先的原位測(cè)量技術(shù)，作為實(shí)現(xiàn)我們高標(biāo)準(zhǔn)的品質(zhì)和良率的基本要素，” VPEC高級(jí)副總裁Neil Chen評(píng)價(jià)說，“將現(xiàn)有的晶圓溫度、晶圓彎曲和生長(zhǎng)速率控制，結(jié)合新的頻譜監(jiān)測(cè)性能，是VCSEL代工廠工藝轉(zhuǎn)移、快速調(diào)整配方和擴(kuò)大規(guī)模的關(guān)鍵。”
LayTec的EpiTT/VCSEL包括兩個(gè)光纖測(cè)量頭：一個(gè)用于標(biāo)準(zhǔn)EpiTT，另一個(gè)用于光譜反射率傳感（R-VCSEL）。兩個(gè)光纖測(cè)量頭均可通過EpiCurve測(cè)量頭上的轉(zhuǎn)接法蘭進(jìn)行連接EpiCurve/VCSEL系統(tǒng)，該項(xiàng)設(shè)置可同時(shí)集成完整的EpiCurve TT性能和DBR（分布式布拉格反射鏡）阻帶和腔傾角位置的頻譜監(jiān)測(cè)功能。這款四合一計(jì)量工具安裝于Aixtron G3行星式反應(yīng)器頂部。EpiTT/VCSEL和EpiCurve TT/VCSEL由新型軟件模塊供電，可實(shí)現(xiàn)單阱和多阱運(yùn)行。
為了支持全球3D傳感和其它快速增長(zhǎng)的應(yīng)用對(duì)VCSEL芯片的需求，LayTec將VCSEL Add-On用于其EpiTT和EpiCurve TT系統(tǒng)，提供了額外的原位光譜反射率傳感，并可在GaAs基和InP基近紅外/紅外（NIR/IR）VCSEL工藝波長(zhǎng)范圍內(nèi)進(jìn)行定制，實(shí)現(xiàn)這類高度復(fù)雜的多層結(jié)構(gòu)器件的高良率制造。
VCSEL Add-On也可作為現(xiàn)有EpiTT或EpiCurve TT系統(tǒng)的升級(jí)版本。憑借配備先進(jìn)的實(shí)時(shí)分析算法，除了EpiTT的晶圓溫度和生長(zhǎng)速率監(jiān)測(cè)，以及EpiCurve TT的晶圓彎曲測(cè)量外，它還能夠在VCSEL外延過程中監(jiān)測(cè)DBR（分布式布拉格反射鏡）阻帶和腔傾角位置。
蘋果iPhone X紅外點(diǎn)陣投影器中的VCSEL芯片
來源：《蘋果iPhone X紅外點(diǎn)陣投影器》
“VPEC為VCSEL晶圓制造選擇了LayTec市場(chǎng)領(lǐng)先的原位測(cè)量技術(shù)，作為實(shí)現(xiàn)我們高標(biāo)準(zhǔn)的品質(zhì)和良率的基本要素，” VPEC高級(jí)副總裁Neil Chen評(píng)價(jià)說，“將現(xiàn)有的晶圓溫度、晶圓彎曲和生長(zhǎng)速率控制，結(jié)合新的頻譜監(jiān)測(cè)性能，是VCSEL代工廠工藝轉(zhuǎn)移、快速調(diào)整配方和擴(kuò)大規(guī)模的關(guān)鍵。”
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