產(chǎn)品詳情
熔融石英JGS1基底激光波前檢測用臺階玻璃
本產(chǎn)品采用紫外級合成熔融石英(JGS1)制造,專門用于激光波前質(zhì)量的高精度檢測與標定。作為干涉測量系統(tǒng)的核心基準元件,它通過精密的臺階結(jié)構(gòu)為激光波前分析提供可靠的相位參考,是光學制造、激光技術和高精度計量領域不可或缺的檢測工具。
核心特性與優(yōu)勢
精密臺階設計:產(chǎn)品表面加工有納米級精度的臺階結(jié)構(gòu),形成確定的光程差。該結(jié)構(gòu)在干涉測量中產(chǎn)生標準的相位階躍,為量化激光波前畸變(如像散、球差等)提供絕對參考,測量分辨率可達納米級。
優(yōu)異的材料性能:
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高透過率與均勻性:在190-2100nm寬光譜范圍(尤其深紫外波段)保持高透過率,內(nèi)部折射率均勻性優(yōu)于±1×10??,幾乎不引入附加波前誤差
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卓越穩(wěn)定性:熱膨脹系數(shù)僅5.5×10??/℃,抗熱沖擊性強,在激光功率波動或溫度變化時性能穩(wěn)定
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高激光損傷閾值:特別適合高能激光和準分子激光系統(tǒng)的原位檢測
超精密加工質(zhì)量:
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表面面形精度達λ/20(@632.8nm),粗糙度優(yōu)于0.5nm
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臺階高度公差嚴格控制在±5nm內(nèi),部分型號提供校準證書
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雙面可鍍制增透膜,在特定波長透光率超過99%
應用領域
主要用于:高能激光器出廠波前檢驗、光刻機物鏡等復雜光學系統(tǒng)像差標定、夏克-哈特曼等波前傳感器校準、精密光學元件面形誤差檢測。作為傳遞標準,它確保從研發(fā)到生產(chǎn)全過程的光學質(zhì)量可控。
該產(chǎn)品在百級潔凈環(huán)境下生產(chǎn)包裝,滿足半導體和精密光學行業(yè)標準,為激光系統(tǒng)性能評估和光學制造質(zhì)量提升提供關鍵計量保障。
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熔融石英JGS1基底激光波前檢測用臺階玻璃
本產(chǎn)品采用紫外級合成熔融石英(JGS1)制造,專門用于激光波前質(zhì)量的高精度檢測與標定。作為干涉測量系統(tǒng)的核心基準元件,它通過精密的臺階結(jié)構(gòu)為激光波前分析提供可靠的相位參考,是光學制造、激光技術和高精度計量領域不可或缺的檢測工具。
核心特性與優(yōu)勢
精密臺階設計:產(chǎn)品表面加工有納米級精度的臺階結(jié)構(gòu),形成確定的光程差。該結(jié)構(gòu)在干涉測量中產(chǎn)生標準的相位階躍,為量化激光波前畸變(如像散、球差等)提供絕對參考,測量分辨率可達納米級。
優(yōu)異的材料性能:
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高透過率與均勻性:在190-2100nm寬光譜范圍(尤其深紫外波段)保持高透過率,內(nèi)部折射率均勻性優(yōu)于±1×10??,幾乎不引入附加波前誤差
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卓越穩(wěn)定性:熱膨脹系數(shù)僅5.5×10??/℃,抗熱沖擊性強,在激光功率波動或溫度變化時性能穩(wěn)定
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高激光損傷閾值:特別適合高能激光和準分子激光系統(tǒng)的原位檢測
超精密加工質(zhì)量:
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表面面形精度達λ/20(@632.8nm),粗糙度優(yōu)于0.5nm
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臺階高度公差嚴格控制在±5nm內(nèi),部分型號提供校準證書
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雙面可鍍制增透膜,在特定波長透光率超過99%
應用領域
主要用于:高能激光器出廠波前檢驗、光刻機物鏡等復雜光學系統(tǒng)像差標定、夏克-哈特曼等波前傳感器校準、精密光學元件面形誤差檢測。作為傳遞標準,它確保從研發(fā)到生產(chǎn)全過程的光學質(zhì)量可控。
該產(chǎn)品在百級潔凈環(huán)境下生產(chǎn)包裝,滿足半導體和精密光學行業(yè)標準,為激光系統(tǒng)性能評估和光學制造質(zhì)量提升提供關鍵計量保障。


