產品詳情
真空限位開關：高真空環(huán)境的可靠位置檢測專家
產品概述
深空創(chuàng)想deepspaceinno專業(yè)用于真空環(huán)境的機械/非接觸式限位開關，采用超低出氣材料和全密封設計，可在10?3Pa及以上真空環(huán)境中提供穩(wěn)定可靠的位置檢測信號，確保真空設備的運行安全和精度控制。
1. 真空適應性設計
- 超低出氣材料：不銹鋼主體+陶瓷組件+特種密封材料
- 全密封結構：焊接密封或特殊密封工藝，出氣率＜10?11 Pa·m3/s
- 耐高溫處理：支持150℃以上烘烤除氣工藝
- 潔凈設計：表面特殊處理，防止微粒脫落
2. 檢測技術方案
- 機械式：特種合金觸點，使用壽命＞100萬次
- 接近式：真空兼容霍爾/光電傳感器
- 磁性式：真空專用磁鋼+磁敏元件組合
- 冗余設計：雙觸點/雙傳感器配置可選
技術參數
- 真空兼容性：10?3Pa～10??Pa
- 工作溫度：-30℃～+120℃（可擴展）
- 響應時間：機械式＜10ms，電子式＜2ms
- 接觸電阻：＜50mΩ（機械式）
- 絕緣電阻：＞100MΩ（500VDC）
- 防護等級：IP68等效密封性能
主要應用場景
- 半導體設備：
- 晶圓傳輸機械臂極限位置檢測
- 真空閥門開閉狀態(tài)監(jiān)測
- 工件臺行程末端保護
- 真空鍍膜系統(tǒng)：
- 擋板位置檢測
- 基片裝載到位確認
- 旋轉臺限位保護
- 科研儀器
- 電子顯微鏡樣品臺限位
- 加速器組件位置檢測
- 真空實驗裝置安全保護
- *業(yè)真空設備：
- 真空爐門位置檢測
- 物料傳輸限位控制
- 真空泵運行狀態(tài)監(jiān)測
選型指南
1. 環(huán)境參數確認
- 工作真空度等級
- 環(huán)境溫度范圍
- 潔凈度要求（ISO等級）
2. 技術規(guī)格選擇
- 檢測方式：機械/接近/磁性
- 安裝方式：螺紋安裝/法蘭安裝/定制接口
- 輸出信號：常開/常閉/晶體管/繼電器
- 動作力：根據機械負載選擇
3. 可靠性要求
- 是否需要冗余設計
- 防誤動作要求
- 使用壽命要求
4. 特殊需求
- 防爆要求
- EMC兼容性
- 認證標準需求
安裝建議
1. 位置布置：避免直接面對氣流沖擊位置
2. 布線設計：使用真空兼容電纜和連接器
3. 調試驗證：安裝后需進行真空環(huán)境功能測試
4. 定期維護：建議每6個月檢查密封狀態(tài)
質量保證
- 每批產品真空出氣率測試
- 全溫域功能驗證測試
- 壽命循環(huán)測試報告
- 完整的材質分析報告
服務支持
- 提供真空應用方案設計
- 支持定制化產品開發(fā)
- 專業(yè)技術團隊現場支持
- 快速響應售后服務
深空創(chuàng)想科技真空限位開關——在高真空環(huán)境中提供可靠的位置檢測與安全保護，確保您的真空設備精確運行、安全可靠！**
產品概述
深空創(chuàng)想deepspaceinno專業(yè)用于真空環(huán)境的機械/非接觸式限位開關，采用超低出氣材料和全密封設計，可在10?3Pa及以上真空環(huán)境中提供穩(wěn)定可靠的位置檢測信號，確保真空設備的運行安全和精度控制。
1. 真空適應性設計
- 超低出氣材料：不銹鋼主體+陶瓷組件+特種密封材料
- 全密封結構：焊接密封或特殊密封工藝，出氣率＜10?11 Pa·m3/s
- 耐高溫處理：支持150℃以上烘烤除氣工藝
- 潔凈設計：表面特殊處理，防止微粒脫落
2. 檢測技術方案
- 機械式：特種合金觸點，使用壽命＞100萬次
- 接近式：真空兼容霍爾/光電傳感器
- 磁性式：真空專用磁鋼+磁敏元件組合
- 冗余設計：雙觸點/雙傳感器配置可選
技術參數
- 真空兼容性：10?3Pa～10??Pa
- 工作溫度：-30℃～+120℃（可擴展）
- 響應時間：機械式＜10ms，電子式＜2ms
- 接觸電阻：＜50mΩ（機械式）
- 絕緣電阻：＞100MΩ（500VDC）
- 防護等級：IP68等效密封性能
主要應用場景
- 半導體設備：
- 晶圓傳輸機械臂極限位置檢測
- 真空閥門開閉狀態(tài)監(jiān)測
- 工件臺行程末端保護
- 真空鍍膜系統(tǒng)：
- 擋板位置檢測
- 基片裝載到位確認
- 旋轉臺限位保護
- 科研儀器
- 電子顯微鏡樣品臺限位
- 加速器組件位置檢測
- 真空實驗裝置安全保護
- *業(yè)真空設備：
- 真空爐門位置檢測
- 物料傳輸限位控制
- 真空泵運行狀態(tài)監(jiān)測
選型指南
1. 環(huán)境參數確認
- 工作真空度等級
- 環(huán)境溫度范圍
- 潔凈度要求（ISO等級）
2. 技術規(guī)格選擇
- 檢測方式：機械/接近/磁性
- 安裝方式：螺紋安裝/法蘭安裝/定制接口
- 輸出信號：常開/常閉/晶體管/繼電器
- 動作力：根據機械負載選擇
3. 可靠性要求
- 是否需要冗余設計
- 防誤動作要求
- 使用壽命要求
4. 特殊需求
- 防爆要求
- EMC兼容性
- 認證標準需求
安裝建議
1. 位置布置：避免直接面對氣流沖擊位置
2. 布線設計：使用真空兼容電纜和連接器
3. 調試驗證：安裝后需進行真空環(huán)境功能測試
4. 定期維護：建議每6個月檢查密封狀態(tài)
質量保證
- 每批產品真空出氣率測試
- 全溫域功能驗證測試
- 壽命循環(huán)測試報告
- 完整的材質分析報告
服務支持
- 提供真空應用方案設計
- 支持定制化產品開發(fā)
- 專業(yè)技術團隊現場支持
- 快速響應售后服務
深空創(chuàng)想科技真空限位開關——在高真空環(huán)境中提供可靠的位置檢測與安全保護，確保您的真空設備精確運行、安全可靠！**
