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蘇州金宏氣體自主研發(fā)的高純氧化亞氮、 超純氨產(chǎn)品通過(guò)中芯國(guó)際稽核認(rèn)證


  機(jī)電之家網(wǎng)獲悉:日前,蘇州金宏氣體股份有限公司發(fā)布公告稱,公司自主研發(fā)的高純氧化亞氮、超純氨產(chǎn)品近日成功通過(guò)中芯國(guó)際集成電路制造有限公司(以下簡(jiǎn)稱“中芯國(guó)際”)的稽核認(rèn)證,等待測(cè)試,測(cè)試結(jié)果將直接影響到最終的產(chǎn)品銷售與服務(wù)協(xié)議的簽署。


  據(jù)了解,高純氧化亞氮、超純氨是集成電路行業(yè)生產(chǎn)環(huán)節(jié)中至關(guān)重要的原材料,在集成電路和LED芯片的制作過(guò)程中,高純氧化亞氮經(jīng)化學(xué)反應(yīng)生成的SiO2膜被沉淀到硅襯底上,氧化亞氮的純度直接影響到SiO2膜純度,并最終影響到電子器件的性能及質(zhì)量。此外,半導(dǎo)體芯片在化學(xué)氣相沉積工藝過(guò)程中用到大量電子氣體,這一領(lǐng)域?qū)Ω呒冄趸瘉喌男枨笤诮鼛啄陮⒊尸F(xiàn)持續(xù)快速增長(zhǎng)趨勢(shì)。

  而與高純氧化亞氮相同,超純氨也是半導(dǎo)體行業(yè)生產(chǎn)環(huán)節(jié)中至關(guān)重要的原材料,該產(chǎn)品主要應(yīng)用于新型光電子材料領(lǐng)域,是MOCVD技術(shù)制備GaN的重要基礎(chǔ)材料。

  近年來(lái),集成電路廠商對(duì)電子氣體的質(zhì)量穩(wěn)定性要求越來(lái)越苛刻,在集成電路制造工藝中,電子氣體產(chǎn)品一旦通過(guò)驗(yàn)證,則其純度和質(zhì)量要求即被鎖定。因此,中芯國(guó)際對(duì)其氣體供應(yīng)商的稽核環(huán)節(jié)十分嚴(yán)格。

  蘇州金宏氣體股份有限公司表示,公司的高純氧化亞氮、超純氨產(chǎn)品通過(guò)中芯國(guó)際的稽核認(rèn)證,標(biāo)志著公司在集成電路領(lǐng)域再次取得了關(guān)鍵性突破,證明了公司的產(chǎn)品質(zhì)量與綜合實(shí)力,為今后更快速、更優(yōu)質(zhì)、更全面的發(fā)展奠定了堅(jiān)實(shí)的基礎(chǔ)。

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