不同的有機(jī)廢氣成分、濃度適用不同的有機(jī)廢氣處理方式，應(yīng)用最為廣泛的還是活性炭吸附法。但是活性炭吸附法存在適用期限到后廢活性炭洗脫回收成本大、存在污染轉(zhuǎn)移等缺點(diǎn)，因此新型吸附-催化燃燒法已在技改中或新建項(xiàng)目中被普遍應(yīng)用。

　　而低溫等離子凈化法因其后期維護(hù)成本低等優(yōu)點(diǎn)正受到越來(lái)越多企業(yè)的青睞，但也存在設(shè)備投資成本高等問(wèn)題。相信隨著技術(shù)和工業(yè)的發(fā)展，低溫等離子凈化技術(shù)會(huì)越來(lái)越成熟，設(shè)備投資也會(huì)隨之下降，屆時(shí)將會(huì)得到普遍應(yīng)用。

　　有機(jī)廢氣，有直接燃燒法

　　直接燃燒法就是利用燃?xì)獾容o助性材料將廢氣點(diǎn)燃，促使其中的有害物質(zhì)在高溫燃燒下轉(zhuǎn)變成無(wú)害物質(zhì)，該方法投資小，操作簡(jiǎn)單，適用于濃度高、風(fēng)量小的廢氣，但其安全技術(shù)要求較高。

　　有機(jī)廢氣，有催化燃燒法

　　催化然后就是將廢氣加熱經(jīng)催化燃燒后轉(zhuǎn)變成無(wú)害的二氧化碳和水。該方法適用于溫度高、濃度高的有機(jī)廢氣凈化處理中，其具有燃燒溫度低、節(jié)能、凈化率高、占地面積少等優(yōu)點(diǎn)，但投資較大。

　　吸附法

　　吸附法又可分成三種：

　　直接吸附法：利用活性炭對(duì)有機(jī)廢氣進(jìn)行吸附凈化處理，凈化率可達(dá)95%以上，該方法設(shè)備簡(jiǎn)單、投資少，但需要經(jīng)常更換活性炭，頻繁的裝卸、更換等程序增加運(yùn)行費(fèi)用。

　　吸附-回收法：利用纖維活性炭吸附有機(jī)廢氣，使其在趨近飽和狀態(tài)下過(guò)熱蒸汽反吹，實(shí)現(xiàn)脫附再生。

　　低溫等離子凈化法

　　低溫等離子體是繼固態(tài)、液態(tài)、氣態(tài)之后的物質(zhì)第四態(tài)，當(dāng)外加電壓達(dá)到氣體的放電電壓時(shí)，氣體被擊穿，產(chǎn)生包括電子、各種離子、原子和自由基在內(nèi)的混合體。

　　放電過(guò)程中雖然電子溫度很高，但重粒子溫度很低，整個(gè)體系呈現(xiàn)低溫狀態(tài)，所以稱為低溫等離子體。低溫等離子體降解污染物是利用這些高能電子、自由基等活性粒子使污染物分子在極短的時(shí)間內(nèi)發(fā)生分解，并發(fā)生后續(xù)的各種反應(yīng)以達(dá)到降解污染物的目的。

　　揮發(fā)性有機(jī)污染物（VOCs）傳統(tǒng)的處理方法如吸收、吸附、冷凝和燃燒等，對(duì)于低濃度的VOCs很難實(shí)現(xiàn)，而光催化降解VOCs 又存在催化劑容易失活的問(wèn)題，利用低溫等離子體處理VOCs可以不受上述條件的限制，具有潛在的優(yōu)勢(shì)。

　　但由于等離子體是一門包含放電物理學(xué)、放電化學(xué)、化學(xué)反應(yīng)工程學(xué)及真空技術(shù)等基礎(chǔ)學(xué)科之上的交叉學(xué)科。因此，目前能成熟的掌握該技術(shù)的單位非常少，大部分宣傳采用低溫等離子技術(shù)處理廢氣的宣傳都不是真正意義上的低溫等離子廢氣處理技術(shù)。