產(chǎn)品詳情
分子式:O?
一、基本性質(zhì)
? 外觀:無色、無臭、無味氣體
? 純度:≥99.995%(5N級,常見99.999%)
? 密度:1.326 kg/m3(21.1℃,常壓),比空氣略重
? 沸點(diǎn):-182.96℃(可液化成淡藍(lán)色液氧)
? 熔點(diǎn):-218.78℃
? 化學(xué)特性:不自燃、強(qiáng)助燃、強(qiáng)氧化性
二、純度與雜質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)(典型)
? O? ≥ 99.995%
? N? ≤ 10 cm3/m3
? Ar ≤ 5 cm3/m3
? H?O ≤ 1 cm3/m3
? CO? ≤ 0.5 cm3/m3
? 塵埃(≥0.5μm)≤ 3.5粒/L
三、主要用途
? 半導(dǎo)體/電子
熱氧化、CVD沉積、等離子刻蝕、晶圓清洗
? 科研/實(shí)驗(yàn)室
標(biāo)準(zhǔn)氣、校正氣、零點(diǎn)氣、精密實(shí)驗(yàn)氛圍
? 醫(yī)療
高壓氧艙、重癥呼吸支持(高純度無雜質(zhì))
? 工業(yè)
冶金煉鋼除雜、金屬切割/焊接(高溫火焰)
? 航天
液氧推進(jìn)劑、生命支持系統(tǒng)
? 光纖/材料
光纖預(yù)制棒、精密材料氧化工藝
四、安全要點(diǎn)
? 強(qiáng)助燃:遇油脂、有機(jī)物易劇烈燃燒/爆炸
? 禁油:閥門、器具嚴(yán)禁沾油脂
? 通風(fēng):防富氧積聚(>23.5%氧濃度危險)
? 儲存:藍(lán)色鋼瓶,遠(yuǎn)離火源、熱源
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