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以氮化硅鎂作為生長助劑燃燒合成制備β- Si3N4棒晶的方法

以氮化硅鎂作為生長助劑燃燒合成制備β- Si3N4棒晶的方法

 

 

以氮化硅鎂作為生長助劑燃燒合成制備β- Si3N4棒晶的方法,屬于非氧化物陶瓷棒晶制備領(lǐng)域。此方法采用燃燒合成工藝,除具有能耗低、適合工業(yè)規(guī)?;a(chǎn)的優(yōu)點外,燃燒產(chǎn)物還具有純度高、不需后續(xù)處理、無環(huán)境污染等特點,而且制備的β- Si3N4棒晶長徑比在5~15之間,晶體結(jié)構(gòu)完整、表面光滑。


 

 

氮化硅鎂作為生長助劑燃燒合成制備β- Si3N4棒晶的制造方法包括:先將硅粉與YQ-S31Ga - Si3N4粉按1:1的比例混合,然后加入棒晶生長助劑 MgSiN2粉體,加入量為Si粉和a - Si3N4粉總重量的2.5wt%,將粉末均勻混合后松裝于外徑Φ60mmx內(nèi)徑Φ55mmx高60mm的碳氈制的直立環(huán)狀筒容器中,松裝密度為0.65g/cm3,并置于燃燒合成爐中,抽真空后充入5MPa氮氣(純度99.9%),經(jīng)通電點火燃燒合成β- Si3N4棒晶,反應時間不超過5分鐘,合成后采用自然冷卻。

由上述工藝制備的β- Si3N4棒晶產(chǎn)率接近100%,長度為5~20μm,直徑在0.5~2μm之間,平均長徑比大約為10,其晶體結(jié)構(gòu)完整,表面光滑無缺陷。

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一種氮化硅納米線的制備方法

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