近日，日立發(fā)布新型場發(fā)射掃描電子顯微鏡(FE-SEM)全新品牌Regulus®系列。

　　此次發(fā)布的機(jī)型包括作為SU8010的后續(xù)機(jī)型開發(fā)的Regulus8100以及SU8200系列的升級Regulus8220 Regulus8230 Regulus8240，共4個機(jī)型，均實現(xiàn)了分辨率和操作性的強(qiáng)化。

　　本次發(fā)布的新品牌Regulus系列電子光學(xué)系統(tǒng)進(jìn)行了最優(yōu)化處理，使得著陸電壓在1kV時分辨率較前代機(jī)型提高了約20%。Regulus8220/8230/8240達(dá)到0.9nm，Regulus8100為1.1 nm的分辨率。另外，最適合低加速電壓下高分辨觀察的冷場電子槍可將樣品的細(xì)節(jié)放大，并獲得高質(zhì)量的圖片。最大放大倍率也由之前的100萬倍提高到了200萬倍。

　　除此之外，為了能更好的應(yīng)對不同樣品的測試和保持并發(fā)揮出高性能，還對用戶輔助工能進(jìn)行了強(qiáng)化，如信號檢測系統(tǒng)的操作輔助功能，維護(hù)輔助功能等。

　　主要特點(diǎn)：

　　搭載了色差極小的適合低加速電壓高分辨率觀察的冷場電子槍

　　跟前代機(jī)型相比分辨率大約提高了20%

　　(Regulus8220/8230/8240：0.9 nm/1 kV，Regulus8100：1.1 nm/1 kV)

　　最大倍率從原來的100萬倍提高到200萬倍*1

　　用戶輔助功能，幫助用戶把儀器的高性能完全發(fā)揮出來

　　編輯點(diǎn)評
　　掃描電子顯微鏡被廣泛應(yīng)用于納米技術(shù)，半導(dǎo)體、電子行業(yè)、生命科學(xué)材、料科學(xué)等領(lǐng)域的材料結(jié)構(gòu)觀察。日立高新技術(shù)以2020年成為電子顯微鏡行業(yè)全球第一為目標(biāo)和中期經(jīng)營戰(zhàn)略，不斷加強(qiáng)研發(fā)，相信今后日立高新技術(shù)將研發(fā)更先進(jìn)的電鏡產(chǎn)品，發(fā)展成為最先進(jìn)、最前沿的事業(yè)創(chuàng)造企業(yè)。