9月4日至6日，第十三屆中國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備與核心部件及材料展（CSEAC 2025）在無(wú)錫太湖國(guó)際博覽中心成功舉辦。SRT旗下北京微法爾半導(dǎo)體科技有限公司（以下簡(jiǎn)稱“WFR”）攜多款自主研發(fā)的晶圓傳輸核心部件與工藝設(shè)備亮相A1館A1-99展臺(tái)，全面展示公司在半導(dǎo)體設(shè)備國(guó)產(chǎn)化領(lǐng)域的技術(shù)實(shí)力與創(chuàng)新成果。

國(guó)產(chǎn)化替代

半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)自主可控的必由之路

在全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)格局深度調(diào)整的背景下，推進(jìn)半導(dǎo)體設(shè)備國(guó)產(chǎn)化替代已成為構(gòu)建國(guó)內(nèi)產(chǎn)業(yè)鏈完整性的重要步驟。作為SRT集團(tuán)在半導(dǎo)體裝備領(lǐng)域的重要布局，WFR依托集團(tuán)在工業(yè)自動(dòng)化領(lǐng)域的綜合研發(fā)與實(shí)施能力，專注于半導(dǎo)體晶圓傳輸核心部件、傳輸設(shè)備及后道膜工藝設(shè)備的研發(fā)與制造，致力于打破國(guó)外技術(shù)壟斷，推動(dòng)國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備的自主可控進(jìn)程。

技術(shù)突破

高精度傳輸與核心部件自主化

本次展會(huì)上，WFR重點(diǎn)展示了RB100系列晶圓搬運(yùn)機(jī)械手，該產(chǎn)品具備±0.06mm的重復(fù)定位精度(最高達(dá)±0.02mm）；采用自主設(shè)計(jì)的末端拾取器，可以實(shí)現(xiàn)不同尺寸、不同材質(zhì)、不同厚度的晶圓搬運(yùn)。機(jī)械手型號(hào)豐富，可完整覆蓋刻蝕、沉積、清洗、測(cè)試等嚴(yán)苛的傳輸場(chǎng)景需求，實(shí)現(xiàn)晶圓的穩(wěn)定可靠搬運(yùn)。

同時(shí)展出的ASW6000系列Sorter是WFR完全自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的晶圓分選設(shè)備，與AEW6000系列EFEM（設(shè)備前端傳輸）均采用了WFR自研的核心部件。依托Robot、LoadPort、Aligner、Fork等核心部件的自主化技術(shù)，WFR具備了多場(chǎng)景兼容的獨(dú)特優(yōu)勢(shì)，可無(wú)縫對(duì)接FOUP、FOSB、OpenCassette及SMIFPod等多種裝載單元。設(shè)備支持“混合配置”模式，能夠靈活應(yīng)對(duì)產(chǎn)線切換需求。WFR研發(fā)的超薄晶圓傳輸技術(shù)可實(shí)現(xiàn)12英寸超薄晶圓和Taiko晶圓的高速穩(wěn)定獨(dú)立傳輸或兼容傳輸。通過(guò)流體分析優(yōu)化的微環(huán)境保持系統(tǒng)，可實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定的Class 1潔凈環(huán)境。

產(chǎn)品矩陣

全棧自研完善產(chǎn)業(yè)布局

WFR在核心部件領(lǐng)域已形成完善的產(chǎn)品體系，涵蓋70余種型號(hào)。本次展出的Aligner AG100系列晶圓校準(zhǔn)設(shè)備支持真空吸附與邊緣接觸兩種加載模式，適配300mm及以下晶圓的校準(zhǔn)需求；RB100V大氣型晶圓傳輸機(jī)械手完全自主設(shè)計(jì)，可實(shí)現(xiàn)高潔凈度環(huán)境中300mm及以下晶圓的穩(wěn)定可靠搬運(yùn)；LoadPort LP160系列晶圓裝載單元是為半導(dǎo)體自動(dòng)化設(shè)備晶圓裝載設(shè)計(jì)的專用設(shè)備，兼容SEMI標(biāo)準(zhǔn)的FOUP、FOSB、Frame FOUP、Smif、OpenCasette等不同類型料盒，也可根據(jù)用戶需求定制開(kāi)發(fā)。

基于對(duì)半導(dǎo)體制造工藝的深耕，WFR在后道工藝設(shè)備領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)了全面布局。公司開(kāi)發(fā)的真空貼膜、超薄晶圓揭膜、UV解膠、裂片等關(guān)鍵工藝設(shè)備，具備高度模塊化設(shè)計(jì)與工藝適配能力，為客戶提供了更具性價(jià)比的國(guó)產(chǎn)化選擇。

技術(shù)底蘊(yùn)

SRT集團(tuán)賦能半導(dǎo)體裝備創(chuàng)新

SRT集團(tuán)作為以軟體機(jī)器人技術(shù)為核心的工業(yè)服務(wù)企業(yè)，始終以技術(shù)普惠為導(dǎo)向，并形成了包括工業(yè)末端執(zhí)行器、數(shù)字化生產(chǎn)設(shè)備及解決方案、半導(dǎo)體晶圓傳輸核心部件和傳輸設(shè)備、醫(yī)療康復(fù)外骨骼機(jī)器人、教育實(shí)訓(xùn)裝備等方向的產(chǎn)品矩陣和解決方案，同時(shí)為WFR提供了跨學(xué)科的技術(shù)支持和創(chuàng)新動(dòng)力。

WFR研發(fā)團(tuán)隊(duì)平均擁有超過(guò)15年的行業(yè)經(jīng)驗(yàn)，憑借對(duì)半導(dǎo)體工藝的技術(shù)創(chuàng)新，逐步構(gòu)建起以“自主設(shè)計(jì)、精益制造、全程服務(wù)”為核心競(jìng)爭(zhēng)力的產(chǎn)品體系，促使WFR能夠快速響應(yīng)市場(chǎng)需求，為客戶提供高質(zhì)量的國(guó)產(chǎn)化解決方案。

此外，展會(huì)期間，WFR技術(shù)團(tuán)隊(duì)針對(duì)客戶實(shí)際需求提供專業(yè)的技術(shù)咨詢和定制化解決方案。未來(lái)，WFR將繼續(xù)堅(jiān)持研發(fā)創(chuàng)新與客戶導(dǎo)向的發(fā)展策略，持續(xù)深化在半導(dǎo)體傳輸與工藝設(shè)備領(lǐng)域的技術(shù)布局，通過(guò)精度提升、可靠性增強(qiáng)和成本優(yōu)化，助力中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈實(shí)現(xiàn)更安全、更高效、更自主的高質(zhì)量發(fā)展。