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復(fù)旦首制全硅激光器 什么是激光器?

  激光器——能發(fā)射激光的裝置。1954年制成了第一臺(tái)微波量子放大器,獲得了高度相干的微波束。1958年A.L.肖洛和C.H.湯斯把微波量子放大器原理推廣應(yīng)用到光頻范圍,1960年T.H.梅曼等人制成了第一臺(tái)紅寶石激光器。1961年A.賈文等人制成了氦氖激光器。1962年R.N.霍耳等人創(chuàng)制了砷化鎵半導(dǎo)體激光器。以后,激光器的種類就越來(lái)越多。

  日前,復(fù)旦大學(xué)信息科學(xué)與工程學(xué)院吳翔教授、陸明教授和張樹(shù)宇副教授合作團(tuán)隊(duì)成功研制出世界上首個(gè)全硅激光器。不同于以往的混合型硅基激光器,本次研究最終實(shí)現(xiàn)由硅自身作為增益介質(zhì)產(chǎn)生激光。該研究是集成硅光電子領(lǐng)域近30年來(lái)取得的一項(xiàng)重大突破。

  集成硅光電子結(jié)合了當(dāng)今兩大支柱產(chǎn)業(yè)——微電子產(chǎn)業(yè)和光電子產(chǎn)業(yè)——的精華。硅激光器是集成硅光電子芯片的基本元件,是實(shí)現(xiàn)集成硅光電子的關(guān)鍵。集成硅光電子預(yù)計(jì)將廣泛應(yīng)用于遠(yuǎn)程數(shù)據(jù)通信、傳感、照明、顯示、成像、檢測(cè)、大數(shù)據(jù)等眾多領(lǐng)域。

  然而,硅自身的發(fā)光極弱,如何將硅處理成具有高增益的激光材料,一直是一個(gè)瓶頸問(wèn)題。自2000年實(shí)驗(yàn)證明硅納米晶材料可以實(shí)現(xiàn)光放大以來(lái),這一瓶頸始終限制著硅激光器的發(fā)展。

  硅激光器是實(shí)現(xiàn)集成硅光電子的關(guān)鍵。由于硅的間接帶隙結(jié)構(gòu)特性,目前,硅的光增益較之通常的III-V族激光材料,仍有1-2個(gè)數(shù)量級(jí)的差距。為避開(kāi)這個(gè)瓶頸,國(guó)際上將成熟的III-V族激光器制備在硅基片上,成為一種混合的硅基激光器。而以硅自身作為增益介質(zhì)的全硅激光器可以更好地匹配現(xiàn)有硅工藝,大幅提升器件的可靠性,其研制既是科學(xué)技術(shù)上的挑戰(zhàn),也是集成硅光電子所必需。

  激光器——能發(fā)射激光的裝置。除自由電子激光器外,各種激光器的基本工作原理均相同。產(chǎn)生激光的必不可少的條件是粒子數(shù)反轉(zhuǎn)和增益大于損耗,所以裝置中必不可少的組成部分有激勵(lì)(或抽運(yùn))源、具有亞穩(wěn)態(tài)能級(jí)的工作介質(zhì)兩個(gè)部分。激勵(lì)是工作介質(zhì)吸收外來(lái)能量后激發(fā)到激發(fā)態(tài),為實(shí)現(xiàn)并維持粒子數(shù)反轉(zhuǎn)創(chuàng)造條件。

  激勵(lì)方式有光學(xué)激勵(lì)、電激勵(lì)、化學(xué)激勵(lì)和核能激勵(lì)等。工作介質(zhì)具有亞穩(wěn)能級(jí)是使受激輻射占主導(dǎo)地位,從而實(shí)現(xiàn)光放大。激光器中常見(jiàn)的組成部分還有諧振腔,但諧振腔( 見(jiàn)光學(xué)諧振腔)并非必不可少的組成部分,諧振腔可使腔內(nèi)的光子有一致的頻率、相位和運(yùn)行方向,從而使激光具有良好的方向性和相干性。而且,它可以很好地縮短工作物質(zhì)的長(zhǎng)度,還能通過(guò)改變諧振腔長(zhǎng)度來(lái)調(diào)節(jié)所產(chǎn)生激光的模式(即選模),所以一般激光器都具有諧振腔。

  激光正從廣度和深度兩方面日益拓展應(yīng)用領(lǐng)域, 逐步滲透到國(guó)民經(jīng)濟(jì)的多個(gè)領(lǐng)域。在裝備制造領(lǐng)域,高功率激光設(shè)備在航空、航天、汽車、高鐵、船舶等高端裝備制造等領(lǐng)域的切割焊接、測(cè)量、打標(biāo)等環(huán)節(jié)發(fā)揮著越來(lái)越重要的作用。

  例如:在現(xiàn)代汽車制造中,汽車、高鐵車身焊接均已全部實(shí)現(xiàn)激光焊接;激光加工是飛機(jī)機(jī)頭(駕駛艙)機(jī)身切割成型和焊接的最佳解決方案。在精細(xì)微加工方面,超短脈沖激光在光伏、液晶顯示、半導(dǎo)體、LED、OLED等領(lǐng)域的鉆孔、刻線、劃槽、表面紋理化、表面改性、修整、清洗等環(huán)節(jié)發(fā)揮了不可替代的作用。此外,激光與生物學(xué)、醫(yī)學(xué)治療及診斷、制藥科學(xué)相結(jié)合,激光抗癌和物理治療、激光手術(shù)、激光診斷、激光眼科治療、激光美容已普遍進(jìn)入醫(yī)學(xué)各分診療科室,激光基因定序儀的發(fā)明使基因測(cè)序檢測(cè)的時(shí)間過(guò)程加快了數(shù)百萬(wàn)倍??傊?,激光與戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)七大領(lǐng)域密切相關(guān), 自身也是戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)高端裝備制造業(yè)的重要內(nèi)容。

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